[实用新型]一种压力可调节的芯片清洗用水箱有效

专利信息
申请号: 202220271525.9 申请日: 2022-02-10
公开(公告)号: CN217491862U 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 钟良 申请(专利权)人: 江苏盐芯微电子有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 北京华际知识产权代理有限公司 11676 代理人: 冯文霞
地址: 224000 江苏省盐城市高新区智能*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 压力 调节 芯片 清洗 水箱
【权利要求书】:

1.一种压力可调节的芯片清洗用水箱,包括主箱体(1),其特征在于:所述主箱体(1)的内侧设置有调压箱(2),所述调压箱(2)的一侧设置有移动压板(9),所述调压箱(2)与移动压板(9)滑动连接,所述移动压板(9)的中端设置有滚轮(10),所述移动压板(9)的上侧固定安装有齿条(8),所述齿条(8)的上侧啮合连接有直齿轮(6),所述直齿轮(6)的一侧固定连接有摇柄(7),所述调压箱(2)的内部设置有分液口(3),所述调压箱(2)的内侧固定连接有限位板(4),所述限位板(4)的一侧活动连接有滑动挡板(5),所述滑动挡板(5)的底部固定安装有压缩弹簧(21)。

2.根据权利要求1所述的一种压力可调节的芯片清洗用水箱,其特征在于:所述主箱体(1)的内部固定安装有储液箱(14),所述储液箱(14)的一侧设置有水泵(13),所述水泵(13)的一侧设置有调压箱(2),所述调压箱(2)与水泵(13)管道连接,所述调压箱(2)的外侧固定安装有分流管(11),所述分流管(11)的一侧固定连接有运输管(12)。

3.根据权利要求2所述的一种压力可调节的芯片清洗用水箱,其特征在于:所述运输管(12)的一端固定连接有喷头(19),所述喷头(19)的下侧设置有安置槽(20)。

4.根据权利要求3所述的一种压力可调节的芯片清洗用水箱,其特征在于:所述主箱体(1)的内侧设置有触点(15),所述触点(15)的一端固定安装有风机(16),所述风机(16)的左侧固定连接有气管(22),所述气管(22)与运输管(12)管道连接。

5.根据权利要求4所述的一种压力可调节的芯片清洗用水箱,其特征在于:所述气管(22)的内侧设置有单向芯阀(17),所述单向芯阀(17)的一侧设置有复位弹簧(18)。

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