[实用新型]一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，包括真空镀箱（1），其特征在于：所述真空镀箱（1）的内壁均匀固定连接有喷镀嘴（12），所述真空镀箱（1）的内部上下两侧对称转动连接有转动轴（17），上侧所述真空镀箱（1）的顶部固定连接有电机（2），所述电机（2）与所述真空镀箱（1）固定连接，两组所述转动轴（17）的相对侧均固定连接有转盘（3），两组所述转盘（3）的内部均匀滑动连接有相对应的滑动块（4），相对两组所述滑动块（4）的内部均转动连接有支撑杆（5），所述滑动块（4）的内部螺纹连接有调节螺杆（7），所述调节螺杆（7）的一端转动连接有内支撑环（6），所述内支撑环（6）与所述转盘（3）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀箱（1）的内部对称固定连接有隔板（11），所述隔板（11）位于两组所述转盘（3）之间，所述隔板（11）的内部均匀开设有与所述支撑杆（5）相适配的避让孔（26）。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：所述调节螺杆（7）远离所述内支撑环（6）的一端固定连接有第一锥齿轮（9），所述隔板（11）的四周均匀转动连接有与各组所述第一锥齿轮（9）相对应的转轴（13），所述转轴（13）的靠近所述第一锥齿轮（9）的一端固定连接有与所述第一锥齿轮（9）相啮合的第二锥齿轮（10）。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：所述转轴（13）远离所述第二锥齿轮（10）的一端开设有插槽（14），上下两组所述插槽（14）之间设有相适配的插杆（15），所述插杆（15）与所述转轴（13）滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：各组所述支撑杆（5）的两端平均固定连接有第三锥齿轮（16），所述第三锥齿轮（16）靠近所述转动轴（17）的一侧啮合连接有第六锥齿轮（23），所述第六锥齿轮（23）的内部滑动连接有滑动轴（24），所述第六锥齿轮（23）的一侧转动连接有移动块（22），所述移动块（22）与所述真空镀箱（1）滑动连接，所述移动块（22）远离所述第六锥齿轮（23）的一侧固定连接有弹簧（21），所述弹簧（21）远离所述移动块（22）的一端固定连接有支撑板（20），所述支撑板（20）与所述转盘（3）固定连接，所述滑动轴（24）与所述支撑板（20）转动连接，所述滑动轴（24）靠近所述转动轴（17）的一端固定连接有第五锥齿轮（19），所述转动轴（17）的外侧固定连接有与所述第五锥齿轮（19）相啮合的第四锥齿轮（18）。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：两组所述转盘（3）的相向侧均固定连接有固定环（27），所述滑动轴（24）与所述固定环（27）转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑杆（5）的外侧均匀固定连接有挂钩（25）。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，其特征在于：所述调节螺杆（7）的另一端转动连接有外支撑环（8），所述外支撑环（8）所述转盘（3）固定连接。