[实用新型]一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备

说明书

本申请公开了一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，涉及真空镀膜机技术领域，改善目前的真空镀膜设备的适用性较差的问题。包括真空镀箱，所述真空镀箱的内壁均匀固定连接有喷镀嘴，所述真空镀箱的内部上下两侧对称转动连接有转动轴，上侧所述真空镀箱的顶部固定连接有电机，所述电机与所述真空镀箱固定连接，两组所述转动轴的相对侧均固定连接有转盘，两组所述转盘的内部均匀滑动连接有相对应的滑动块，本申请通过调节螺杆、滑动块和转盘的设置，使得在调节螺杆转动时可以带动滑动块在转盘的内部滑动，并带动支撑杆随之移动，从而实现对支撑杆位置的调节，进而提高对不同大小工件镀膜的适用范围。

技术领域

本申请涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是涉及一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

为了便于工件的固定，一般真空镀膜机内部均设置有相应的转盘支撑杆，以便于待镀膜工件的钩挂固定，但目前的真空镀膜机内部的支撑杆大多固定设置，使得难以对不同大小的工件进行钩挂固定，造成其适用性较差。

实用新型内容

为了改善目前的真空镀膜设备的适用性较差的问题，本申请提供一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备。

本申请提供一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，采用如下的技术方案：

一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备，包括真空镀箱，所述真空镀箱的内壁均匀固定连接有喷镀嘴，所述真空镀箱的内部上下两侧对称转动连接有转动轴，上侧所述真空镀箱的顶部固定连接有电机，所述电机与所述真空镀箱固定连接，两组所述转动轴的相对侧均固定连接有转盘，两组所述转盘的内部均匀滑动连接有相对应的滑动块，相对两组所述滑动块的内部均转动连接有支撑杆，所述滑动块的内部螺纹连接有调节螺杆，所述调节螺杆的一端转动连接有内支撑环，所述内支撑环与所述转盘固定连接。

通过采用上述技术方案，在调节螺杆转动时可以带动滑动块在转盘的内部滑动，并带动支撑杆随之移动，从而实现对支撑杆位置的调节，进而提高对不同大小工件镀膜的适用范围。

可选的，所述真空镀箱的内部对称固定连接有隔板，所述隔板位于两组所述转盘之间，所述隔板的内部均匀开设有与所述支撑杆相适配的避让孔。

通过采用上述技术方案，隔板的设置用于将真空镀箱的内部分隔，从而对真空镀箱内部两侧的部件进行遮挡。

可选的，所述调节螺杆远离所述内支撑环的一端固定连接有第一锥齿轮，所述隔板的四周均匀转动连接有与各组所述第一锥齿轮相对应的转轴，所述转轴的靠近所述第一锥齿轮的一端固定连接有与所述第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮。

通过采用上述技术方案，转轴在转动时通过第二锥齿轮和第一锥齿轮带动调节螺杆进行转动，从而便于对调节螺杆的转动调节。

可选的，所述转轴远离所述第二锥齿轮的一端开设有插槽，上下两组所述插槽之间设有相适配的插杆，所述插杆与所述转轴滑动连接。

通过采用上述技术方案，在插杆转动时可以带动上下两组相对应的转轴同步转动，进而便于对上下两侧相对应的调节螺杆进行转动调节。

可选的，各组所述支撑杆的两端平均固定连接有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮靠近所述转动轴的一侧啮合连接有第六锥齿轮，所述第六锥齿轮的内部滑动连接有滑动轴，所述第六锥齿轮的一侧转动连接有移动块，所述移动块与所述真空镀箱滑动连接，所述移动块远离所述第六锥齿轮的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧远离所述移动块的一端固定连接有支撑板，所述支撑板与所述转盘固定连接，所述滑动轴与所述支撑板转动连接，所述滑动轴靠近所述转动轴的一端固定连接有第五锥齿轮，所述转动轴的外侧固定连接有与所述第五锥齿轮相啮合的第四锥齿轮。