[实用新型]一种用于探针台的晶圆防滑出结构

权利要求书

1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上端面设有后放置槽(2)，所述底座(1)上端面还设有两个收纳槽(3)，两个所述收纳槽(3)内均通过传动齿轮(5)设有衔接杆(4)，所述衔接杆(4)底壁设有挤压槽(12)，所述挤压槽(12)内通过挤压机构设有挤压块(13)，所述底座(1)内部设有两个转动腔(6)，两个所述转动腔(6)内均转动连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)外壁螺纹连接有螺母(8)，所述螺母(8)上设有与传动齿轮(5)配合的调节机构，两个所述转动腔(6)之间设有传动腔(16)，所述传动腔(16)内设有微型电机，两根所述螺纹杆(7)端部均延伸至传动腔(16)内，两根所述螺纹杆(7)均通过转动机构与微型电机连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于，所述挤压机构包括与挤压块(13)端部固定连接的挤压弹簧(15)，所述挤压弹簧(15)末端与挤压槽(12)内壁弹性连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于，所述调节机构包括固定于螺母(8)上外币的衔接块(9)，所述收纳槽(3)与转动腔(6)之间通过条形口(11)连通，所述衔接块(9)两侧外壁均与条形口(11)内壁滑动连接，所述衔接块(9)上端面设有与传动齿轮(5)啮合的齿条(10)。

4.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于，所述转动机构包括固定于微型电机输出轴末端以及螺纹杆(7)端部的锥形齿轮(17)，两个所述锥形齿轮(17)垂直咬合。

5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于，所述传动齿轮(5)与收纳槽(3)内壁转动连接，所述传动齿轮(5)与收纳槽(3)内壁的转动连接处设有扭力弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于，所述挤压块(13)末端外壁固定有挤压垫(14)，所述挤压垫(14)为橡胶材质。