[实用新型]一种用于探针台的晶圆防滑出结构

说明书

本实用新型公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构，包括底座，所述底座上端面设有后放置槽，所述底座上端面还设有两个收纳槽，两个所述收纳槽内均通过传动齿轮设有衔接杆，所述衔接杆底壁设有挤压槽，所述挤压槽内通过挤压机构设有挤压块。本实用新型通过设置挤压块、衔接杆、传动齿轮、螺纹杆、调节机构与转动机构，当螺母与衔接块以及齿条向两侧移动的时候可以带动传动齿轮顺势针转动，可以将处于垂直状态的衔接杆转动至平行状态，从而带动挤压块与挤压垫实现对晶圆的挤压固定，能有效防止晶圆滑动移动，在放置槽处于敞开状态下能避免晶圆滑出，该过程可以通过微型电机来实现，具备一定的自动化程度，降低操作人员操作量。

技术领域

本实用新型涉及探针台辅助设备技术领域，尤其涉及一种用于探针台的晶圆防滑出结构。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

晶圆放置在探针台上的时候，为了保证晶圆的稳定性，为了避免晶圆移动或者偏移需要为其配备一套防滑出结构，现有技术中的防滑出结构并多由挤压设备实现其挤压防滑出功能，其挤压功能的实现为手动式，其本体一般不具备自动调节能力，所以在其正常使用过程需要操作人员与其配合实现，导致装置整体的自动化程度以及便利性都非常差，所以需要针对该问题重新设计一种用于探针台的晶圆防滑出结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于探针台的晶圆防滑出结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于探针台的晶圆防滑出结构，包括底座，所述底座上端面设有后放置槽，所述底座上端面还设有两个收纳槽，两个所述收纳槽内均通过传动齿轮设有衔接杆，所述衔接杆底壁设有挤压槽，所述挤压槽内通过挤压机构设有挤压块，所述底座内部设有两个转动腔，两个所述转动腔内均转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外壁螺纹连接有螺母，所述螺母上设有与传动齿轮配合的调节机构，两个所述转动腔之间设有传动腔，所述传动腔内设有微型电机，两根所述螺纹杆端部均延伸至传动腔内，两根所述螺纹杆均通过转动机构与微型电机连接。

优选地，所述挤压机构包括与挤压块端部固定连接的挤压弹簧，所述挤压弹簧末端与挤压槽内壁弹性连接。

优选地，所述调节机构包括固定于螺母上外币的衔接块，所述收纳槽与转动腔之间通过条形口连通，所述衔接块两侧外壁均与条形口内壁滑动连接，所述衔接块上端面设有与传动齿轮啮合的齿条。

优选地，所述转动机构包括固定于微型电机输出轴末端以及螺纹杆端部的锥形齿轮，两个所述锥形齿轮垂直咬合。

优选地，所述传动齿轮与收纳槽内壁转动连接，所述传动齿轮与收纳槽内壁的转动连接处设有扭力弹簧。

优选地，所述挤压块末端外壁固定有挤压垫，所述挤压垫为橡胶材质。

本实用新型的有益效果：

1、通过设置挤压块、衔接杆、传动齿轮、螺纹杆、调节机构与转动机构，当螺母与衔接块以及齿条向两侧移动的时候可以带动传动齿轮顺势针转动，可以将处于垂直状态的衔接杆转动至平行状态，从而带动挤压块与挤压垫实现对晶圆的挤压固定，能有效防止晶圆滑动移动，在放置槽处于敞开状态下能避免晶圆滑出，该过程可以通过微型电机来实现，具备一定的自动化程度，降低操作人员操作量。

2、通过设置挤压垫与挤压机构，在挤压块与挤压块实现对晶圆的挤压固定的时候，在挤压弹簧提供的弹性势能作用下还能避免造成过分的挤压，从而对晶圆提供有效的保护。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于探针台的晶圆防滑出结构的结构示意图；

图2为图1的A处结构放大示意图；

图3为图1的B处结构放大示意图。