[实用新型]一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室

权利要求书

1.一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，包括：

壳体，其内部设置有清洁空腔，所述清洁空腔的上部设置有进风口，所述清洁空腔的下部设置有出风口；

置物组件，其固定设置在所述清洁空腔内，且所述置物组件具有水平的置物平面，枚叶式晶圆水平放置在所述置物平面上；

出风管道，其设置在所述壳体下方，且所述出风管道的进风口与所述清洁空腔的出风口连通；

叶轮节流阀，其固定设置在所述出风管道上，且排气方向沿所述出风管道的进风口指向所述出风管道的出风口。

2.根据权利要求1所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述叶轮节流阀包括：

外壳，其串联在所述出风管道内；

叶轮，其设置在所述外壳内，所述外壳中轴与所述出风管道的中轴线重合，所述叶轮的多个叶片沿所述叶轮的半径设置；

驱动组件，其动力输出端与所述叶轮连接，且驱动所述叶轮绕其中轴转动。

3.根据权利要求1所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述置物组件包括：

置物台，其水平设置，且所述置物平面为所述置物台的上侧面；

支撑杆，其水平设置在所述清洁空腔内，且所述支撑杆与所述清洁空腔的下侧面之间设置有间隙；

转动组件，其固定端与所述支撑杆固定连接，所述转动组件的转动端与所述置物台下侧面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述置物台位于所述清洁空腔的进风口的正下方，所述出风口位于所述置物台的正下方。

5.根据权利要求2所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述出风管道的出风口与排气处理装置连通。

6.根据权利要求2所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述清洁空腔内部设置有压力传感器，所述压力传感器的信号输出端与控制器的信号输入端电连接，所述控制器的信号输出端与所述叶轮节流阀的信号输入端电连接。

7.根据权利要求3所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，还包括风机过滤单元，所述风机过滤单元设置在所述清洁空腔内，且位于所述置物台的上方，所述风机过滤单元过滤所述清洁空腔的进风口输入的空气。

8.根据权利要求7所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述风机过滤单元水平设置，且所述风机过滤单元的圆周面与所述壳体的内侧面固定密封连接。

9.根据权利要求8所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述置物组件还包括引流罩，所述引流罩包括：

圆筒段，其竖直设置在所述清洁空腔内，且所述圆筒段的中轴线与所述置物台的转动轴重合，所述圆筒段的下端与所述支撑杆固定连接；

圆台筒段，其竖直设置在所述圆筒段的上方，且所述圆台筒段的下端与所述圆筒段的上端固定连接，所述圆台筒段的上端设置在所述枚叶式晶圆的上方。

10.根据权利要求9所述的一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，其特征在于，所述圆台筒段的上端内径小于所述圆台筒段的下端内径，所述圆台筒段的上端内径大于所述置物台的直径。