[实用新型]一种晶圆夹取治具

权利要求书

1.一种晶圆夹取治具，其特征在于，包括：

下夹头(1)，所述下夹头(1)的支撑面积大于等于晶圆面积的一半，且所述下夹头(1)的一边缘设有与晶圆匹配的弧形阻挡件(2)；

上夹头(3)，设置于所述下夹头(1)的上方，所述上夹头(3)的一侧与所述下夹头(1)设有所述阻挡件(2)的一侧弹性连接，所述上夹头(3)为与所述晶圆匹配的弧形件，且所述上夹头(3)的外侧弧形面与所述阻挡件(2)的内侧弧形面对齐。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述上夹头(3)包括：

第一上夹头(31)，呈弧形形状，与所述下夹头(1)弹性连接；

第二上夹头(32)，设有两个，均呈弧形形状，两个所述第二上夹头(32)设置于所述第一上夹头(31)的两端，且均能伸出或缩回所述第一上夹头(31)。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述第一上夹头(31)朝向所述下夹头(1)的一侧设有滑槽(33)，所述第二上夹头(32)滑动设置于所述滑槽(33)内，所述第二上夹头(32)上沿所述第二上夹头(32)的长度方向间隔设有多个第一连接件(34)，所述第一上夹头(31)上设有与所述第一连接件(34)可拆卸连接的第二连接件(35)。

4.根据权利要求3所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述第一连接件(34)包括设置于所述第二上夹头(32)上的连接孔，所述第二连接件(35)穿设所述第一上夹头(31)与所述连接孔可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述第二连接件(35)包括锁紧螺栓，所述连接孔的孔壁设有与所述锁紧螺栓匹配连接的内螺纹。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述下夹头(1)与所述上夹头(3)通过具有弹性的手柄(4)连接，所述手柄(4)的一端与所述下夹头(1)连接，所述手柄(4)的另一端弯折与所述上夹头(3)连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述手柄(4)呈V形形状或呈U形形状。

8.根据权利要求1所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述阻挡件(2)的内侧弧形面的中间位置至所述下夹头(1)与所述阻挡件(2)相对的一边的距离为所述晶圆的半径。

9.根据权利要求1所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述下夹头(1)呈正方形形状。

10.根据权利要求1所述的晶圆夹取治具，其特征在于，所述下夹头(1)和所述上夹头(3)的材质均为阻抗为10E-5至10E-9的防静电材料。