[实用新型]一种可集成装载多种型号基片的一体化治具

权利要求书

1.一种可集成装载多种型号基片的一体化治具，其特征在于：包括本体，所述本体的放置面开设有放置基片的基片放置腔，所述基片放置腔包括若干方形腔，若干所述方形腔的尺寸沿所述基片放置腔的开设方向逐渐缩小，且所述方形腔的对角线重合，每个所述方形腔的底部均开设有圆形腔，且在正向投影上，所述圆形腔内切于对应所述方形腔，位于所述基片放置腔一侧的所述本体上开设有取放料槽，所述取放料槽的深度大于基片放置腔的深度，且所述取放料槽靠近所述基片放置腔的一端位于所述基片放置腔中部的所述圆形腔内。

2.根据权利要求1所述的一种可集成装载多种型号基片的一体化治具，其特征在于：所述本体的放置面为所述本体的正面和背面。

3.根据权利要求2所述的一种可集成装载多种型号基片的一体化治具，其特征在于：所述本体正面的基片放置腔和反面的基片放置腔均为多个，且呈矩阵分布在所述本体上。

4.根据权利要求3所述的一种可集成装载多种型号基片的一体化治具，其特征在于：所述本体的正面具有16个基片放置腔，且该基片放置腔包括第四方形腔和第五方形腔，所述第四方形腔的底部内切有第四圆形腔，所述第五方形腔的底部内切有第五圆形腔。

5.根据权利要求3或4所述的一种可集成装载多种型号基片的一体化治具，其特征在于：所述本体的背面具有四个基片放置腔，且该基片放置腔包括第一方形腔、第二方形腔和第三方形腔，所述第一方形腔、第二方形腔和所述第三方形腔的尺寸逐渐缩小，所述第一方形腔的底部内切有第一圆形腔，所述第二方形腔的底部内切有第二圆形腔，所述第三方形腔的底部内切有第三圆形腔。