[实用新型]一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置

权利要求书

1.一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：包括测温窗（4）、旋转升降系统、灰尘吹扫系统（10）、石英片透光率检测系统；所述测温窗（4）设置于真空腔体（1）的开孔（2）上方，所述旋转升降系统包括升降气缸（6）、旋转电机（8），旋转电机（8）固定设置在升降气缸（6）的伸缩杆上端，旋转电机（8）的输出轴与测温窗（4）通过水平的连接杆（9）相连接；灰尘吹扫系统（10）设置于测温窗（4）的一侧，包括吹扫头（16）、吹扫底座（15）、升降机构，吹扫头（16）通过升降机构固定在吹扫底座（15）上，吹扫头（16）的顶端设置有一个竖直的双层管道（17），双层管道（17）的内部设置有相套接的压缩空气管道（20）与真空管道（21）；所述石英片透光率检测系统设置于灰尘吹扫系统（10）的一侧，包括光源接收传感器（22）及其上方的透光率检测光源（14）。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：所述双层管道（17）与旋转电机（8）输出轴之间的距离等于测温窗（4）与旋转电机（8）输出轴之间的距离；所述光源接收传感器（22）与旋转电机（8）输出轴之间的距离等于测温窗（4）与旋转电机（8）输出轴之间的距离。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：真空腔体（1）的开孔（2）的开口上边缘设置有O型密封圈（3）。

4.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：测温窗（4）的下端设置有测温窗底座（5），所述测温窗底座（5）为圆柱体结构，测温窗底座（5）设置于开孔（2）的上方并且与开孔（2）同轴设置；测温窗底座（5）的内部为中空结构，下端为开口结构，上端与测温窗（4）相连通。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：所述升降气缸（6）设置于真空腔体（1）的上表面外侧并且位于开孔（2）的一侧，升降气缸（6）的缸底一端固定连接在真空腔体（1）的上表面上，升降气缸（6）的伸缩杆一端竖直向上设置。

6.根据权利要求5所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：升降气缸（6）的一侧设置有旋转电机支架（7），旋转电机支架（7）的下端固定设置在真空腔体（1）的上表面上，旋转电机支架（7）靠近旋转电机（8）的一侧侧面上设置有竖直的滑槽，所述旋转电机（8）的侧面上设置有滑杆，滑杆远离旋转电机（8）的一端滑动连接在旋转电机支架（7）的滑槽内。

7.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：所述吹扫底座（15）为上端面开有凹槽的圆柱体结构，吹扫底座（15）固定设置在真空腔体（1）的上表面上，吹扫底座（15）上端面的凹槽为圆柱形凹槽，凹槽内部插接有吹扫头（16），所述吹扫头（16）在凹槽内部上下滑动。

8.根据权利要求7所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：所述吹扫头（16）的侧面设置有滑动座，所述滑动座内设置有上下贯通的螺纹孔；所述凹槽的内壁上设置有滑动槽，滑动槽与凹槽相连通并且长度与其相等，吹扫头（16）侧面的滑动座位于所述滑动槽内部并且可以在滑动槽内上下滑动。

9.根据权利要求8所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：所述吹扫底座（15）的下端面固定设置有一个升降电机（18），升降电机（18）的输出轴竖直向上设置，升降电机（18）的输出轴上固定设置一根竖直的丝杆（19），所述丝杆（19）螺接于滑动座的螺纹孔内部。

10.根据权利要求1所述的一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，其特征在于：透光率检测光源支架（13）竖直设置于光源接收传感器（22）的一侧，透光率检测光源（14）固定设置于透光率检测光源支架（13）的上端，并且透光率检测光源支架（13）的光源发出方向为竖直向下，透光率检测光源（14）位于光源接收传感器（22）的正上方。