[实用新型]一种硅料联合酸洗机

权利要求书

1.一种硅料联合酸洗机，其特征在于，包括工作台，所述工作台按照硅料的进料方向依次设置有酸腐蚀区、漂洗区和超声区，所述酸腐蚀区至少设有一个酸洗槽，用于实现对硅料的酸洗，所述漂洗区至少设有一个漂洗槽，用于对酸腐蚀区酸洗后的硅料进行漂洗，所述超声区至少设有一个超声槽，用于对漂洗区漂洗后的硅料进行超声清洗，所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽内均设有料箱和溢流槽。

2.根据权利要求1所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽的内部均通过溢流板分隔为清洗槽和溢流槽，所述料箱位于清洗槽内。

3.根据权利要求2所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述溢流槽的槽底设有溢流管，所述溢流管分别与溢流槽、暂存箱连通，用于将溢流槽内的清洗液引流至暂存箱。

4.根据权利要求3所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述暂存箱上设有与清洗槽连通的补液管，用于将暂存箱中的清洗液引流至清洗槽中。

5.根据权利要求1所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述超声槽内设有用于对料箱进行支撑的超声震板，所述超声震板接收自超声波发生器传递的超声波。

6.根据权利要求5所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述超声震板为框架结构，其端部设有支撑杆，所述超声槽的槽壁上设有用于放置支撑杆的支撑座。

7.根据权利要求1-6任一所述的硅料联合酸洗机，其特征在于，所述工作台位于主框架上，且主框架的顶部开设抽风口，所述抽风口通过管路与引风机连通。