[实用新型]一种硅料联合酸洗机有效
申请号: | 202220415347.2 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN217342567U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 吕磊 | 申请(专利权)人: | 华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;B08B3/14 |
代理公司: | 青岛双合知识产权代理事务所(普通合伙) 37342 | 代理人: | 张明利 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 联合 酸洗 | ||
本实用新型涉及一种硅料联合酸洗机,包括工作台,所述工作台按照硅料的进料方向依次设置有酸腐蚀区、漂洗区和超声区,所述酸腐蚀区至少设有一个酸洗槽,用于实现对硅料的酸洗,所述漂洗区至少设有一个漂洗槽,用于对酸腐蚀区酸洗后的硅料进行漂洗,所述超声区至少设有一个超声槽,用于对漂洗区漂洗后的硅料进行超声清洗,所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽内均设有料箱和溢流槽,本实用新型能够实现对硅料酸洗、漂洗和超声清洗的自动化,减少工作人员的劳动强度,同时,配合超声波震动提高清洗效率,此外,溢流槽既可以保证放入硅料后不会溢出清洗液,又可以避免清洗液无法完全浸泡硅料。
技术领域
本实用新型属于硅料清洗技术领域,具体地说涉及一种硅料联合酸洗机。
背景技术
随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大,硅料的需求量也越来越大。块状或板状的硅料原材料,在进行使用之前,大多需要对硅料进行清洗,清除硅料表面的杂质。
由于硅料的表面会形成一层氧化膜,因此,需要使用试剂来进行深度清洗,试剂为酸性溶液,一次需要在酸洗池当中放置大量的硅料,从而导致酸洗池当中酸性溶液的液面大幅度上升,若酸洗池当中的酸性溶液较多,酸性溶液容易从酸洗池的侧边溢出,若酸洗池当中的酸性溶液较少,则无法完全浸泡硅料,不容易对酸洗池当中的酸性溶液的量进行控制。此外,经过酸洗后的硅料需要放入到清水中进行浸泡清洗,由于硅料表面存在大量不溶于水的杂质并且很多的杂质都嵌入到了硅料表面的孔隙当中,使用清水浸泡,并不能够很好的将硅料表面的杂质清洗干净,并且清洗效率低。因此,现在亟需一种硅料联合酸洗机。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足,为了解决上述问题,现提出一种硅料联合酸洗机。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种硅料联合酸洗机,包括工作台,所述工作台按照硅料的进料方向依次设置有酸腐蚀区、漂洗区和超声区,所述酸腐蚀区至少设有一个酸洗槽,用于实现对硅料的酸洗,所述漂洗区至少设有一个漂洗槽,用于对酸腐蚀区酸洗后的硅料进行漂洗,所述超声区至少设有一个超声槽,用于对漂洗区漂洗后的硅料进行超声清洗,所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽内均设有料箱和溢流槽。
进一步,所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽的内部均通过溢流板分隔为清洗槽和溢流槽,所述料箱位于清洗槽内。
进一步,所述溢流板的顶部为锯齿状。
进一步,所述溢流槽的槽底设有溢流管,所述溢流管分别与溢流槽、暂存箱连通,用于将溢流槽内的清洗液引流至暂存箱。
进一步,所述暂存箱上设有与清洗槽连通的补液管,用于将暂存箱中的清洗液引流至清洗槽中。
进一步,所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽上均设有进液口,所述进液口处连通有进液管。
进一步,所述酸洗槽、漂洗槽和超声槽的底部均设有出液口,所述出液口处连通有出液管。
进一步,所述出液口处设有滤网,用于阻止自硅料上清洗下来的杂质进入到出液管中。
进一步,所述超声槽内设有用于对料箱进行支撑的超声震板,所述超声震板接收自超声波发生器传递的超声波。
进一步,所述超声震板为框架结构,其端部设有支撑杆,所述超声槽的槽壁上设有用于放置支撑杆的支撑座。
优选的,所述支撑座为U型结构。
进一步,所述工作台还包括上料区和下料区,所述上料区用于将硅料运输到酸腐蚀区,所述下料区用于暂存超声清洗后的硅料。
进一步,所述工作台位于主框架上,且主框架的顶部开设抽风口,所述抽风口通过管路与引风机连通。
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