[实用新型]一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构有效
申请号: | 202220416876.4 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN217332640U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 陈永;朱熠辰;孙昊 | 申请(专利权)人: | 无锡研平电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12;G01R1/04;G01R1/18 |
代理公司: | 北京众泽信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11701 | 代理人: | 吕昕炜 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 振动 电容 静电 传感器 机械振动 结构 | ||
1.一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构,包括静电传感器(12),其特征在于,所述静电传感器(12)外部一侧设有待测试品(10),所述待测试品(10)被测表面与静电传感器(12)一侧平行且保持间隙,所述静电传感器(12)与待测试品(10)被测表面共同构成电容器(11),所述静电传感器(12)外部边缘设有静电传感器外壳(9),所述静电传感器(12)内部设有振动发生器(13),所述振动发生器(13)一端设有尾端固定支架(1),所述尾端固定支架(1)一侧固定设有连接梁(2),所述连接梁(2)远离尾端固定支架(1)一侧的两端分别固定设有第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4),所述第一机械振动梁(3)平行于第二机械振动梁(4),所述第一机械振动梁(3)远离尾端固定支架(1)的一端固定设有第一振动片(7),所述第一振动片(7)垂直于第一机械振动梁(3)的长度方向,所述第二机械振动梁(4)远离尾端固定支架(1)的一端固定设有第二振动片(8),所述第二振动片(8)垂直于第二机械振动梁(4)的长度方向,所述第一机械振动梁(3)内壁中部贴附设有第一陶瓷片(5),所述第二机械振动梁(4)内壁中部贴附设有第二陶瓷片(6),所述尾端固定支架(1)远离第一机械振动梁(3)的一端设有第一定位齿(102),所述第一定位齿(102)与连接梁(2)之间设有定位孔(101),所述连接梁(2)靠近第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4)的一端中部设有第二定位齿(203),所述尾端固定支架(1)外部设有静电传感器外壳(9),所述尾端固定支架(1)通过定位孔(101)机械固定于静电传感器外壳(9),所述第一定位齿(102)将尾端固定支架(1)电性连接固定于静电传感器外壳(9)上,所述第二定位齿(203)将连接梁(2)电性连接固定于静电传感器外壳(9)上,所述连接梁(2)靠近第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4)的一端两侧分别设有连接副梁(202),所述连接副梁(202)与定位孔(101)之间设有连接主梁(201),所述连接主梁(201)和连接副梁(202)共同组成连接梁(2),所述连接副梁(202)远离尾端固定支架(1)的一侧两边分别固定设有第一机械振动梁(3)和第二机械振动梁(4),所述第一振动片(7)与第二振动片(8)呈对称分布设置,所述第一振动片(7)远离尾端固定支架(1)的一侧固定设有第一弧形板(701),所述第一弧形板(701)另一端设有第一矩形板(702),所述第一矩形板(702)垂直于第一机械振动梁(3)的长度方向,所述第二振动片(8)远离尾端固定支架(1)的一侧固定设有第二弧形板(801),所述第二弧形板(801)另一端设有第二矩形板(802),所述第二矩形板(802)垂直于第二机械振动梁(4)的长度方向,所述第一弧形板(701)和第一矩形板(702)连接并组成第一振动片(7),所述第二弧形板(801)和第二矩形板(802)连接并组成第二振动片(8),所述第一矩形板(702)和第二矩形板(802)处于同一平面且两者之间保持间隙,所述第一弧形板(701)远离第一矩形板(702)的一端固定连接第一机械振动梁(3),所述第二弧形板(801)远离第二矩形板(802)的一端固定连接第二机械振动梁(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构,其特征在于:所述尾端固定支架(1)、连接梁(2)、第一机械振动梁(3)、第二机械振动梁(4)、第一陶瓷片(5)、第二陶瓷片(6)、第一振动片(7)和第二振动片(8)共同构成振动发生器(13)。
3.根据权利要求1所述的一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构,其特征在于:所述第一振动片(7)与第二振动片(8)均做接地处理,所述电容器(11)通过静电感应原理带电,所述第一振动片(7)与第二振动片(8)周期性屏蔽静电传感器(12)感应面相对表面积,所述电容器(11)电容量大小通过振动方式改变待测试品(10)与静电传感器(12)之间的感应相对表面积来实现。
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