[实用新型]一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构

说明书

本实用新型公开了一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构，包括静电传感器，所述静电传感器外部设有待测试品，所述静电传感器内部设有振动发生器，所述振动发生器一端设有尾端固定支架，所述尾端固定支架一侧设有连接梁，所述连接梁另一侧设有第一机械振动梁，所述第一机械振动梁一端设有第一振动片，所述第一机械振动梁设有第一陶瓷片，测量时，第一陶瓷片通电产生振动，带动第一振动片振动，周期屏蔽静电传感器感应面，改变电容量大小，产生周期性电流信号，引入信号检测电路中，转换为电压信号并放大，得到测量静电感应处理信号，完成检测，该装置结构科学合理，使用安全可靠，为人们提供了很大的帮助。

技术领域

本实用新型涉及静电测试技术领域，特别涉及一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构。

背景技术

随着我国改革开放的深入，我国各行业先进技术迅速发展，静电研究成果逐渐被应用到各行各业中，利用静电感应、高压静电场的气体放电等效应和原理，实现多种加工工艺和加工设备，例如利用静电除尘、复印、喷涂、纺纱、植绒等；但静电的存在同样会带来一些威胁和隐患，静电放电(ESD)会造成电子设备故障和误动作，促进电子器件老化，降低生产成品率，在多易燃易爆物或粉尘的生产场所易引起爆炸和火灾，静电吸附导致胶片、塑料、造纸印刷工业收卷不齐，影响产品质量，造成安全隐患，中国电子工业每年因静电造成直接经济损失高达数十亿人民币，如果处理不当，静电的存在将严重威胁国民经济的安全。因此，为充分掌握并完善静电的应用，静电的防护与测量尤为重要，对静电进行准确测量是关键前提，静电测量核心部件为静电传感器，目前市场上的振动电容式静电传感器电容改变方式主要有变极距法和变面积法。其中变极距法是通过改变极板间垂直距离，该方法在极板上下振动时会出现不平行情况，使得极板相对面积发生改变，空气阻尼较大导致每次振幅不一致，两个变量同时改变造成传感器测量误差的增大；变面积法则改变极板间相对表面积，但传统测量方向采用横向测量，导致传感器整体与待测试品相对表面积较大，加快了静电的泄放，改变了表面电荷的分布状态，影响了静电测量的准确度；同时结构的固定多采用粘接方式，安装位置无法统一，造成装置一致性较差；振动梁连接不合理导致传动不一致，振动幅度小且易受到干扰。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于振动电容式静电传感器的机械振动结构，旨在应用于高精度静电测量领域完成多环境场所下的静电检测任务，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：