[实用新型]CVD配气接头组件安装用轨道托盘

权利要求书

1.CVD配气接头组件安装用轨道托盘，包括第一配气接头组件(22)和第二配气接头组件(20)，其特征在于，所述第一配气接头组件(22)和所述第二配气接头组件(20)之间可拆卸连接有反应管(3)，所述反应管(3)的下方两侧均设置有直线圆柱导轨(17)，两个所述直线圆柱导轨(17)端部之间均设置有固定板(24)，两个所述直线圆柱导轨(17)上设置有沿所述直线圆柱导轨(17)来回移动的托板盘(30)，每个所述托板盘(30)的上部均设置有至少一个用于支撑对应配气接头组件的支撑限位机构。

2.根据权利要求1所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个所述直线圆柱导轨(17)的底部设置有凸型底座(16)，两个所述底座(16)的端部之间均设置有固定板(24)。

3.根据权利要求1所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述第一配气接头组件(22)包括位于所述反应管(3)一端可拆卸的第一配气管(7)，与所述第一配气管(7)连通的一个或两个压力传感器接口(5)及与所述第一配气管(7)连通的一个或两个抽气口(4)；所述第二配气接头组件(20)包括位于所述反应管(3)另一端可拆卸的第二配气管(8)及与所述第二配气管(8)连通的进气法兰口(2)和备用法兰口(6)，所述第一配气管(7)和所述第二配气管(8)的内径均与所述反应管(3)的内径相同，且所述第一配气管(7)、所述反应管(3)和所述第二配气管(8)的水平中心轴位于同一直线上。

4.根据权利要求3所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个托板盘(30)上均设置有两个支撑限位机构，每个所述支撑限位机构包括支撑板(18)，位于支撑板(18)上部可拆卸的压板(19)，位于支撑板(18)上部中间的第一凹槽及位于所述压板(19)底部中间的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽形成与所述第一配气管(7)或第二配气管(8)相吻合的通孔；每个所述支撑板(18)中间底部设置有连接孔，所述支撑板(18)中间底部的托板盘(30)上设置有条形孔。

5.根据权利要求2所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，每个所述托板盘(30)底部四周分别设置有与对应所述直线圆柱导轨(17)和所述底座(16)相配合的第一滑槽(31)，至少一个所述第一滑槽(31)上设置有第一限位孔，所述第一限位孔内螺纹连接有第一限位螺栓(23)。

6.根据权利要求2所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，两个托板盘(30)之间设置有沿所述直线圆柱导轨(17)来回移动的马弗炉(21)。

7.根据权利要求6所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述马弗炉(21)的底部固定有支撑盘(26)，直线圆柱导轨(17)所在的所述支撑盘(26)的两侧分别设置有至少两个与对应所述直线圆柱导轨(17)和所述底座(16)相配合的第二滑槽(28)。

8.根据权利要求7所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，至少一个所述第二滑槽(28)上设置有第二限位孔，所述第二限位孔内螺纹连接有第二限位螺栓(27)。

9.根据权利要求6或8所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，马弗炉(21)与托板盘(30)之间的至少一个直线圆柱导轨(17)上设置有与对应直线圆柱导轨(17)和底座(16)相配合的限位滑槽(29)，所述限位滑槽(29)的顶部高于马弗炉(21)的底部。

10.根据权利要求9所述的CVD配气接头组件安装用轨道托盘，其特征在于，所述限位滑槽(29)上设置有第三限位孔，所述第三限位孔内螺纹连接有第三限位螺栓(25)。