[实用新型]装片位满篮空篮同步切换机构有效
| 申请号： | 202220445095.8 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN216773206U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 殷志江 | 申请（专利权）人： | 釜川（无锡）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 | 代理人： | 王小丹 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装片位满篮空篮 同步 切换 机构 | ||
1.装片位满篮空篮同步切换机构，其特征在于，包括固定滑轨(1)，所述固定滑轨(1)的外表面滑动连接有设备座(2)，所述设备座(2)的顶部固定安装有提升气缸(3)，所述提升气缸(3)的底端固定安装有搬运机械手(4)，所述固定滑轨(1)的下方依次设有空篮回流工位(7)、装片工位(8)和满篮出料工位(9)。
2.根据权利要求1所述的装片位满篮空篮同步切换机构，其特征在于：所述固定滑轨(1)的内侧壁上固定安装有固定齿条(5)，所述设备座(2)的内部固定安装有行走电机(14)，所述行走电机(14)的输出端固定安装有行走齿轮(15)，所述行走齿轮(15)与固定齿条(5)相啮合。
3.根据权利要求1所述的装片位满篮空篮同步切换机构，其特征在于：所述设备座(2)的侧面固定连接有滑动防脱块(13)，所述固定滑轨(1)的外表面开设有限位滑槽(10)，所述滑动防脱块(13)滑动连接在限位滑槽(10)的内部。
4.根据权利要求1所述的装片位满篮空篮同步切换机构，其特征在于：所述固定滑轨(1)的顶部开设有线槽(11)，所述线槽(11)的内部固定安装有行走线带(12)，所述行走线带(12)的另一端固定连接在设备座(2)的外表面。
5.根据权利要求1所述的装片位满篮空篮同步切换机构，其特征在于：所述固定滑轨(1)的底部固定连接有连接板(6)，所述空篮回流工位、装片工位(8)和满篮出料工位(9)均设置在连接板(6)的底端上表面。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
