[实用新型]一种用于基板植球后检测的线扫检测机构有效

专利信息
申请号: 202220453010.0 申请日: 2022-03-02
公开(公告)号: CN216870412U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 刘泽洋;谢旭波;付清华 申请(专利权)人: 上海微松工业自动化有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201100 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 基板植球后 检测 机构
【权利要求书】:

1.一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,包括固定座(1)和支架(2),其特征在于:所述固定座(1)固定支撑在所述支架(2)上,所述固定座(1)上滑移设置有线扫组件(15)以及带动所述线扫组件(15)滑移的驱动组件(5),所述线扫组件(15)包括滑移设置在所述固定座(1)上的安装座(151)、设置在安装座(151)上的打光灯(152)以及设置在安装座(151)上的照相机(153),所述打光灯(152)上沿照相机(153)照射方向贯穿开设有避让槽(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述安装座(151)上设置有带动所述打光灯(152)朝靠近或远离基板方向滑移的滑移组件(19)。

3.根据权利要求1所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述安装座(151)上固定连接有安装板(17),所述照相机(153)朝靠近或远离所述打光灯(152)的方向滑移设置在所述安装板(17)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述驱动组件(5)包括转动设置在所述固定座(1)上的主动齿轮(51)、转动设置所述支架(2)上的从动齿轮(52)、驱动主动齿轮(51)转动的驱动件(53)、绕卷在主动齿轮(51)及从动齿轮(52)上的齿带(54),所述线扫组件(15)设置在所述齿带(54)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述固定座(1)上沿所述线扫组件(15)滑移方向设置有滑轨(14),所述安装座(151)上固定连接有滑块(16),所述滑块(16)滑移在所述滑轨(14)上,所述滑块(16)与所述齿带(54)固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述固定座(1)上开设有滑槽(6),所述滑槽(6)内滑移设置有定位座(7),所述从动齿轮(52)转动设置在所述定位座(7)上。

7.根据权利要求5所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述滑块(16)通过连接组件(22)可拆卸设置在所述齿带(54)上。

8.根据权利要求5所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述滑轨(14)背离所述固定座(1)的侧壁上设置有两个限位块(23),两个所述限位块(23)分别位于所述滑轨(14)两端。

9.根据权利要求1所述的一种用于基板植球后检测的线扫检测机构,其特征在于:所述固定座(1)上设置有拖链(24),所述拖链(24)一端与固定座(1)固定连接,所述拖链(24)另一端与所述安装座(151)固定连接。

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