[实用新型]一种真空镀膜生产线用平移架

权利要求书

1.一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于包括底架组件(1)和可移动地设于所述底架组件(1)上的平移框组件(2)，所述底架组件(1)与所述平移框组件(2)之间设有用于驱动所述平移框组件(2)沿X轴方向运动的第一驱动装置(3)，所述平移框组件(2)上设有用于对基片架小车(10)进行定位和导向的定位导向组件(4)，所述平移框组件(2)的底部设有用于驱动基片架小车(10)沿Y轴运动的第二驱动装置(5)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述定位导向组件(4)包括定位件(401)，所述定位件(401)包括设于所述平移框组件(2)底部的定位座(41)、设于所述定位座(41)前侧的定位柱(42)和设于所述定位座(41)的后侧且用于驱动所述定位柱(42)前后运动的驱动缸(43)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述定位导向组件(4)还包括磁导向件(402)，所述磁导向件(402)包括设于所述平移框组件(2)顶部的安装板(44)、设于所述安装板(44)底部的导向罩(45)和分别设于所述导向罩(45)的两内侧且磁性相同的磁铁(46)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述导向罩(45)上设有压紧缸(47)。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述平移框组件(2)上设有用于对镀膜基片在基片架小车(10)上进行装卸的顶片组件(6)，所述顶片组件(6)包括铝型材(61)和设于所述铝型材(61)上的顶片驱动件(62)。

6.根据权利要求1至4任一项所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述第二驱动装置(5)包括传动架(51)、可转动地设于所述传动架(51)一侧上的V型轮(52)和设于所述传动架(51)的另一侧且用于驱动所述V型轮(52)转动的伺服驱动组件(53)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述伺服驱动组件(53)包括第一伺服电机(531)和设于所述第一伺服电机(531)的输出端与所述V型轮(52)之间的同步轮同步带传送组件(532)，所述传动架(51)上设有张紧轮组件(54)。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述第一驱动装置(3)包括设于所述平移框组件(2)上的第二伺服电机(31)、设于所述第二伺服电机(31)输出端上的斜齿轮(32)和设于所述底架组件(1)上且可与所述斜齿轮(32)啮合的斜齿条(33)。

9.根据权利要求1或8所述的一种真空镀膜生产线用平移架，其特征在于所述底架组件(1)上设有直线滑轨(7)，所述底架组件(1)的两端设有油压缓冲器(8)，所述平移框组件(2)的底部设有可与所述直线滑轨(7)滑动连接的滑块(21)。