[实用新型]一种真空镀膜生产线用平移架

说明书

本实用新型提供一种真空镀膜生产线用平移架，包括底架组件和可移动地设于底架组件上的平移框组件，底架组件与平移框组件之间设有用于驱动平移框组件沿X轴方向运动的第一驱动装置，平移框组件上设有用于对基片架小车进行定位和导向的定位导向组件，平移框组件的底部设有用于驱动基片架小车沿Y轴运动的第二驱动装置。本实用新型不仅实现了基本的基片架小车的传输功能，而且还兼具了下料功能、平移功能和辅助实现存储功能，高度自动化，功能集成度高并减少了回架设备的数量。

【技术领域】

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种真空镀膜生产线用平移架。

【背景技术】

基片架小车是装载镀膜基片的机构，其搭载镀膜基片在真空镀膜生产线中传送以完成镀膜工艺，其结构如说明书附图的图6所示。整在套镀膜线中，主要分为真空镀膜箱体和大气回架设备。回架设备肩负着基片架小车的传输和上下料功能。另外在真空镀膜生产线中，为了提高效率一般在一条生产线中会有多个基片架小车存在，当开始生产流程，基片架小车要从存储架中一片片的吐出，当镀膜结束又要从镀膜线中全部回收到存储架中。不过传统的大气回架设备仅仅只是完成把基片架小车送入和送出镀膜线的动作，导致回架设备功能单一，自动化程度低，甚至会使回架设备数量和尺寸加大。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供自动化程度高且可大大减少回架设备的一种真空镀膜生产线用平移架。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种真空镀膜生产线用平移架，包括底架组件和可移动地设于所述底架组件上的平移框组件，所述底架组件与所述平移框组件之间设有用于驱动所述平移框组件沿X轴方向运动的第一驱动装置，所述平移框组件上设有用于对基片架小车进行定位和导向的定位导向组件，所述平移框组件的底部设有用于驱动基片架小车沿Y轴运动的第二驱动装置。

本实用新型采用上述结构，通过定位导向组件配合第二驱动装置可将基片架小车定位于平移框组件中，使得本实用新型具有辅助实现储存的功能，另外通过第一驱动装置可驱动平移框组件沿X轴方向运动，从而实现平移搬运功能，而第二驱动装置可驱动基片架小车沿Y轴运动，从而实现下料功能，因此本实用新型是大气回架设备的一部分，不仅实现了基本的基片架小车的传输功能，而且还兼具了下料功能、平移功能和辅助实现存储功能，高度自动化，功能集成度高并减少了回架设备的数量。

如上所述的一种真空镀膜生产线用平移架，所述定位导向组件包括定位件，所述定位件包括设于所述平移框组件底部的定位座、设于所述定位座前侧的定位柱和设于所述定位座的后侧且用于驱动所述定位柱前后运动的驱动缸。驱动缸提供动力推动定位柱与基片架小车上的定位套配合，从而完成定位并为下料动作提供前提条件。

如上所述的一种真空镀膜生产线用平移架，所述定位导向组件还包括磁导向件，所述磁导向件包括设于所述平移框组件顶部的安装板、设于所述安装板底部的导向罩和分别设于所述导向罩的两内侧且磁性相同的磁铁，使得基片架小车的上端可悬空，并减小基片架小车沿Y轴方向传送时的阻力。

如上所述的一种真空镀膜生产线用平移架，述导向罩上设有压紧缸，压紧缸可在定位时将基片架小车压紧，从而保证基片架小车的定位效果。

如上所述的一种真空镀膜生产线用平移架，所述平移框组件上设有用于对镀膜基片在基片架小车上进行装卸的顶片组件，所述顶片组件包括铝型材和设于所述铝型材上的顶片驱动件，从而方便调节各顶片驱动件之间的间距。通过顶片驱动件可自动解锁通过装夹装置夹紧于基片架小车上的镀膜基片，从而完成自动卸料。

如上所述的一种真空镀膜生产线用平移架，所述第二驱动装置包括传动架、可转动地设于所述传动架一侧上的V型轮和设于所述传动架的另一侧且用于驱动所述V型轮转动的伺服驱动组件，伺服驱动组件提供动力带动V型轮转动，从而带动基片架小车沿Y轴运动以完成下料。