[实用新型]一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台

权利要求书

1.一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座（1），其特征在于：所述花岗岩底座（1）的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构（2），两侧所述第一气浮移动机构（2）之间设有第二气浮移动机构（3），所述第二气浮移动机构上设有工作台（4）；

每侧所述第一气浮移动机构（2）均包括两个支撑块（21），两个支撑块（21）相对设置在花岗岩底座（1）的一侧，两个所述支撑块（21）之间设有第一滑行块（22），所述第一滑行块（22）的两端均设有一圈第一磁环（221），所述第一滑行块（22）上套有第一气浮轴承（23），所述第一气浮轴承（23）的两端均设有第二磁环（231），每一端所述第一磁环（221）与第二磁环（231）相对设置，且第一磁环（221）与第二磁环（231）为同极磁环；

所述第二气浮移动机构（3）包括两个第二滑行块（31），每个所述第二滑行块（31）的两端均设有一圈第三磁环（311），每个所述第二滑行块（31）上均套有第二气浮轴承（32），所述第二气浮轴承（32）的两端均设有第四磁环（321），每一端所述的第三磁环（311）和第四磁环（321）相对设置，且第三磁环（311）与第四磁环（321）为同极磁环。

2.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述工作台（4）包括工作台底座（41）和工作台面（42），所述工作台底座（41）内设有旋转电机（43），所述旋转电机（43）连接着工作台面（42），所述旋转电机（43）两侧设有辅助轴承（431），一侧所述旋转电机（43）的辅助轴承（431）下端设有走气孔（432），所述走气孔（432）与工作台底座（41）外壁相通，所述工作台面（42）与旋转电机（43）交接处设有光栅（44），所述工作台面（42）上端设有多个安装孔（421）。

3.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一气浮轴承（23）两侧分别设有第一连接板（24）和固定板（25），所述第一连接板（24）的下方连接第一直线电机（241），所述第一直线电机（241）连接着第一拖链（242），所述第一拖链（242）设置在花岗岩底座（1）上。

4.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：两个所述第二滑行块（31）的两边分别固定在相对应的固定板（25）上，两个所述第二气浮轴承（32）之间固定有述工作台底座（41），其中一个所述第二气浮轴承（32）的侧边设有第二连接板（33），所述第二连接板（33）的下方连第二直线电机（331），所述第二直线电机（331）连接第二拖链（332），所述第二拖链（332）设置在花岗岩底座（1）上。

5.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一气浮轴承（23）和第二气浮轴承（32）结构一致，包括通孔（232），所述通孔（232）的每侧内壁上均设有两个气槽（233），每个所述气槽（233）的两侧均设有气孔（234）。