[实用新型]一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台

说明书

本实用新型公开了一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台；本实用新型的工作台能够进行360度的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。

技术领域

本实用新型涉及舵片喷涂技术领域，具体为一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台。

背景技术

气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；其主要是通过将气浮轴承套接于滑行块上进行移动的，同时在滑行块两端设置限位块，用于气浮轴承移动时的限位，但是这样的的结构设计，容易造成气浮轴承与限位块之间发生碰撞，容易磨损和损伤气浮轴承和限位库，因此有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台；

每侧所述第一气浮移动机构均包括两个支撑块，两个支撑块相对设置在花岗岩底座的一侧，两个所述支撑块之间设有第一滑行块，所述第一滑行块的两端均设有一圈第一磁环，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承，所述第一气浮轴承的两端均设有第二磁环，每一端所述第一磁环与第二磁环相对设置，且第一磁环与第二磁环为同极磁环；

所述第二气浮移动机构包括两个第二滑行块，每个所述第二滑行块的两端均设有一圈第三磁环，每个所述第二滑行块上均套有第二气浮轴承，所述第二气浮轴承的两端均设有第四磁环，每一端所述的第三磁环和第四磁环相对设置，且第三磁环与第四磁环为同极磁环。

优选的，所述第一气浮轴承两侧分别设有第一连接板和固定板，所述第一连接板的下方连接第一直线电机，所述第一直线电机连接着第一拖链，所述第一拖链设置在花岗岩底座上。

优选的，两个所述第二滑行块的两边分别固定在相对应的固定板上，两个所述第二气浮轴承之间固定有述工作台底座，其中一个所述第二气浮轴承的侧边设有第二连接板，所述第二连接板的下方连第二直线电机，所述第二直线电机连接第二拖链，所述第二拖链设置在花岗岩底座上。

优选的，所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的第一磁环与第二磁环为同极磁环，第三磁环与第四磁环为同极磁环，当气浮轴承在滑行块上移动时，磁环与磁环相靠近时，利用同极性相斥的原理，不仅能够对滑行的气浮轴承进行限位，同时还能防止相互碰撞，继而有效的保护了气浮轴承，大大提高了其使用寿命；

本实用新型特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且本实用新型的气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和走气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度；本实用新型的工作台能够进行360度的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。

附图说明

图1为本实用新型整体结构侧视示意图；

图2为本实用新型整体结构俯视示意图；

图3为本实用新型工作台剖面结构示意图；

图4为本实用新型气浮轴承结构示意图；