[实用新型]一种蒸镀源

权利要求书

1.一种蒸镀源，其特征在于，包括：

坩埚，所述坩埚的内部形成腔体；所述腔体具有底壁以及绕所述底壁一周设置的侧壁；

搅拌件，位于所述腔体内；

第一磁体，位于所述腔体内；所述第一磁体与所述搅拌件靠近所述底壁的一端连接；

第二磁体，位于所述底壁远离所述腔体一侧，与所述第一磁体相互吸附；以及，

驱动装置，所述驱动装置的输出端与所述第二磁体连接，用于驱动所述第二磁体转动，以使所述第一磁体随所述第二磁体的转动而转动。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述搅拌件包括：

搅拌杆，所述搅拌杆靠近所述底壁的一端与所述第一磁体连接；

搅拌叶片，安装于所述搅拌杆上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述底壁设有限位槽；所述蒸镀源还包括：

限位凸起，所述限位凸起安装于所述第一磁体靠近所述底壁一侧，位于所述限位槽内。

4.根据权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，所述第一磁体靠近所述底壁一侧与所述底壁之间具有间隙。

5.根据权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，所述限位槽具有槽底以及绕所述槽底一周设置的槽壁；所述蒸镀源还包括：

垫片，安装于所述限位槽内，与所述限位槽的槽底贴合；所述限位凸起远离所述第一磁体的一端与所述垫片抵靠。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：

传动机构，所述传动机构与所述驱动装置以及所述第二磁体连接。

7.根据权利要求6所述的蒸镀源，其特征在于，所述传动机构包括：

第一传动齿轮，与所述驱动装置的输出端连接；以及，

第二传动齿轮，与所述第一传动齿轮啮合，且与所述第二磁体连接；

其中，所述第一传动齿轮的轮径小于所述第二传动齿轮的轮径。

8.根据权利要求7所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：

连接杆，所述连接杆的一端与所述第二磁体连接，另一端与所述第二传动齿轮连接。

9.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括：

盖板，所述盖板位于所述侧壁远离所述底壁一侧，与所述侧壁连接；所述搅拌杆远离所述底壁一端贯穿所述盖板。

10.根据权利要求9所述的蒸镀源，其特征在于，所述盖板上设有开口，所述开口与所述腔体连通。