[实用新型]一种测试载具及X射线衍射仪

权利要求书

1.一种测试载具，其特征在于，包括：

样品台，所述样品台包括承载外延片的第一表面、背离所述第一表面的第二表面以及贯穿所述样品台且间隔设置的至少三个边缘开口；

锁紧结构，所述锁紧结构与所述边缘开口对应设置；所述锁紧结构包括至少一个第一锁紧结构和至少一个第二锁紧结构，所述第一锁紧结构与所述样品台固定连接，所述第二锁紧结构与所述样品台可活动连接。

2.根据权利要求1所述的测试载具，其特征在于，所述锁紧结构包括卡接结构，所述卡接结构位于所述第一表面且与所述外延片接触连接。

3.根据权利要求2所述的测试载具，其特征在于，所述卡接结构包括斜角式卡接结构；

所述斜角式卡接结构包括第一面、第二面以及连接所述第一面和所述第二面的第三面；所述第一面与所述第一表面接触且平行设置，所述第二面位于所述第一面远离所述样品台一侧且与所述第一表面平行设置，所述第一面在所述样品台的垂直投影面积小于所述第二面在所述样品台的垂直投影面积，所述第三面所在平面与所述第一表面之间的夹角为锐角，且所述第三面与所述外延片接触。

4.根据权利要求2所述的测试载具，其特征在于，所述第一锁紧结构包括与所述第一表面接触的第一分部、与所述第二表面接触的第二分部、连接所述第一分部和所述第二分部的第三分部以及第一卡接结构，所述第一分部靠近所述外延片一侧与所述第一卡接结构固定连接，所述第三分部位于所述边缘开口内。

5.根据权利要求4所述的测试载具，其特征在于，所述第一锁紧结构还包括第一螺母，所述第一螺母贯穿所述第一分部和所述样品台，所述第一锁紧结构通过所述第一螺母与所述样品台固定连接。

6.根据权利要求2所述的测试载具，其特征在于，所述第二锁紧结构包括与所述第一表面接触的第四分部、与所述第二表面接触的第五分部、连接所述第四分部和所述第五分部的第六分部以及第二卡接结构，所述第四分部靠近所述外延片一侧与所述第二卡接结构固定连接，所述第六分部位于所述边缘开口内。

7.根据权利要求6所述的测试载具，其特征在于，所述第二锁紧结构还包括第一磁性结构，所述第一磁性结构位于所述第四分部靠近所述第一表面一侧，所述第二锁紧结构通过所述第一磁性结构与所述样品台磁性连接。

8.根据权利要求1所述的测试载具，其特征在于，所述样品台还包括外延片设置区；

所述测试载具还包括位于所述外延片设置区且位于所述第二表面的第二磁性结构，所述第二磁性结构与所述样品台固定连接。

9.根据权利要求1所述的测试载具，其特征在于，所述样品台还包括外延片设置区以及位于所述外延片设置区内的至少一个镂空区域，所述镂空区域贯穿所述样品台。

10.一种X射线衍射仪，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的测试载具。