[实用新型]一种测试载具及X射线衍射仪

说明书

本实用新型实施例公开了一种测试载具及X射线衍射仪，测试载具包括样品台和锁紧结构，样品台包括承载外延片的第一表面、背离第一表面的第二表面以及贯穿样品台且间隔设置的至少三个边缘开口；锁紧结构与边缘开口对应设置；锁紧结构包括至少一个第一锁紧结构和至少一个第二锁紧结构，第一锁紧结构与样品台固定连接，第二锁紧结构与样品台可活动连接，通过设置与样品台固定连接的第一锁紧结构和与样品台可活动连接的第二锁紧结构，使得样品台能够稳固承载外延片，避免测试过程中外延片的移动，影响测试效果，提高测试成功率，同时降低外延片的碎片风险。

技术领域

本实用新型实施例涉及衍射测试技术领域，尤其涉及一种测试载具及X射线衍射仪。

背景技术

X射线衍射法是基于布拉格衍射原理，通过X射线与材料内部规则原子面发生衍射作用实现材料晶体结构的分析方法。借助X射线衍射仪对某种材料进行检测分析时，首先需要将检测样品放置在一个样品架上，然后将样品架和检测样品一起放入X射线衍射仪中进行检测。

检测样品通常由外延片进行承载，在测试过程中，随着样品架的移动，放置有检测样品的外延片会发生松动，影响检测效果，或外延片从样品架上掉落，会产生碎片风险。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种测试载具及X射线衍射仪，提高在测试过程中外延片的固定效果，提高测试效果。

第一方面，本实用新型提供了一种测试载具，包括：

样品台，所述样品台包括承载外延片的第一表面、背离所述第一表面的第二表面以及贯穿所述样品台且间隔设置的至少三个边缘开口；

锁紧结构，所述锁紧结构与所述边缘开口对应设置；所述锁紧结构包括至少一个第一锁紧结构和至少一个第二锁紧结构，所述第一锁紧结构与所述样品台固定连接，所述第二锁紧结构与所述样品台可活动连接。

可选的，所述锁紧结构包括卡接结构，所述卡接结构位于所述第一表面且与所述外延片接触连接。

可选的，所述卡接结构包括斜角式卡接结构；

所述斜角式卡接结构包括第一面、第二面以及连接所述第一面和所述第二面的第三面；所述第一面与所述第一表面接触且平行设置，所述第二面位于所述第一面远离所述样品台一侧且与所述第一表面平行设置，所述第一面在所述样品台的垂直投影面积小于所述第二面在所述样品台的垂直投影面积，所述第三面所在平面与所述第一表面之间的夹角为锐角，且所述第三面与所述外延片接触。

可选的，所述第一锁紧结构包括与所述第一表面接触的第一分部、与所述第二表面接触的第二分部、连接所述第一分部和所述第二分部的第三分部以及第一卡接结构，所述第一分部靠近所述外延片一侧与所述第一卡接结构固定连接，所述第三分部位于所述边缘开口内。

可选的，所述第一锁紧结构还包括第一螺母，所述第一螺母贯穿所述第一分部和所述样品台，所述第一锁紧结构通过所述第一螺母与所述样品台固定连接。

可选的，所述第二锁紧结构包括与所述第一表面接触的第四分部、与所述第二表面接触的第五分部、连接所述第四分部和所述第五分部的第六分部以及第二卡接结构，所述第四分部靠近所述外延片一侧与所述第二卡接结构固定连接，所述第六分部位于所述边缘开口内。

可选的，所述第二锁紧结构还包括第一磁性结构，所述第一磁性结构位于所述第四分部靠近所述第一表面一侧，所述第二锁紧结构通过所述第一磁性结构与所述样品台磁性连接。

可选的，所述样品台还包括外延片设置区；

所述测试载具还包括位于所述外延片设置区且位于所述第二表面的第二磁性结构，所述第二磁性结构与所述样品台固定连接。

可选的，所述样品台还包括外延片设置区以及位于所述外延片设置区内的至少一个镂空区域，所述镂空区域贯穿所述样品台。