[实用新型]芯片传送装置有效
申请号: | 202220504392.5 | 申请日: | 2022-03-07 |
公开(公告)号: | CN216996470U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 陈金辉;翟元康;容承昌;郑挺;郑朝生;梁光照 | 申请(专利权)人: | 上海芯丑半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65G47/74 | 分类号: | B65G47/74;B65G43/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 刘光明 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 传送 装置 | ||
1.一种芯片传送装置,其特征在于,包括
传送轨道,所述传送轨道设置有用于传送芯片的通道,所述传送轨道沿芯片传送方向的至少一位置设置有与所述通道连通的开口;
敲料装置,所述敲料装置包括敲料件和驱动机构,所述敲料件安装在所述驱动机构的输出端,所述驱动机构用于驱动所述敲料件沿垂直于所述芯片传送方向移动以使所述敲料件经所述开口敲击所述通道内的芯片。
2.根据权利要求1所述的芯片传送装置,其特征在于,所述敲料件呈板状,所述开口沿所述芯片传送方向延伸。
3.根据权利要求1所述的芯片传送装置,其特征在于,所述驱动机构包括固定座、滑轨、驱动器以及驱动块,所述滑轨沿垂直于芯片传送方向安装在所述固定座上,所述驱动块滑设于所述滑轨,所述敲料件安装在所述驱动块,所述驱动器用于驱动所述驱动块沿所述滑轨滑动以带动所述敲料件移动。
4.根据权利要求3所述的芯片传送装置,其特征在于,所述固定座包括第一支撑部以及垂直于所述第一支撑部设置的第二支撑部,所述滑轨安装在所述第二支撑部,所述驱动块包括主体部和与所述主体部连接的限位部,所述主体部与所述滑轨滑动连接,所述驱动器驱动所述敲料件敲击芯片时,所述限位部与所述第一支撑部抵接。
5.根据权利要求1所述的芯片传送装置,其特征在于,所述传送轨道与水平面呈角度设置,芯片在自身重力的作用下沿所述通道滑动。
6.根据权利要求5所述的芯片传送装置,其特征在于,所述传送轨道与水平面垂直设置。
7.根据权利要求1所述的芯片传送装置,其特征在于,所述传送轨道设置有传感器,所述传感器用于检测有无芯片从所述通道滑出,所述驱动机构根据所述传感器的检测信息驱动所述敲料件敲击芯片。
8.根据权利要求7所述的芯片传送装置,其特征在于,所述传感器对应所述通道的出口端设置。
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