[实用新型]一种半导体测试机环境校正装置有效
| 申请号： | 202220516853.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN217506105U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 孙秀峰;邢涛;张伟 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王娜娜 |
| 地址： | 201201 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 环境 校正 装置 | ||
1.一种半导体测试机环境校正装置，其特征在于，包括屏蔽罩、通风管以及除湿装置；
所述屏蔽罩与测试机外壁贴合；
所述通风管的一端与所述屏蔽罩相连接，另一端与所述除湿装置相连接；
所述除湿装置用于对测试机与所述屏蔽罩贴合的一侧除湿，使得测试机校准时表面温度以及湿度保持恒定。
2.如权利要求1所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述屏蔽罩上设置有夹持组件，所述夹持组件使得所述屏蔽罩与不同规格测试机外壁贴合。
3.如权利要求2所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述夹持组件包括两个夹持板以及驱动构件；
两个所述夹持板均滑动安装在所述屏蔽罩的两侧；
所述驱动构件设置在所述屏蔽罩的外壁上，用于控制所述夹持板与测试机外壁卡接。
4.如权利要求3所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述屏蔽罩上设置有用于安装所述夹持板的腰型槽，所述夹持板设置有与腰型槽相匹配的限位块。
5.如权利要求4所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述驱动构件包括螺纹筒以及与所述夹持板相匹配的螺纹杆；
所述螺纹杆的一端与所述螺纹筒螺纹连接，另一端与所述限位块相固定；
且两个所述螺纹杆外壁设有对称且相反的螺纹。
6.如权利要求1所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述屏蔽罩与测试机进风散热口的一侧相贴合。
7.如权利要求1所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述通风管通过法兰盘分别与所述屏蔽罩以及所述除湿装置相连接。
8.如权利要求1所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述除湿装置设置为除湿器。
9.如权利要求1所述的半导体测试机环境校正装置，其特征在于，所述屏蔽罩设置为透明亚力克板。
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