[实用新型]载板和载板组件有效
申请号: | 202220533450.7 | 申请日: | 2022-03-11 |
公开(公告)号: | CN217230930U | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 薛建锋;王金;王永洁;余义;苏世杰 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;C23C16/24 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 侯武娇 |
地址: | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 | ||
1.一种载板,其特征在于,包括:
基础板,所述基础板包括底板以及围绕所述底板边缘设置的侧板,所述侧板与所述底板形成容纳坑;及
覆盖板,包括固定板、连接板及承载板,所述固定板和所述承载板分别与所述连接板的相对两端连接且朝相反方向延伸,所述覆盖板用于通过所述固定板设于所述基础板上,以使所述固定板贴合并覆盖所述侧板的顶壁,所述连接板与所述承载板位于所述容纳坑内,所述承载板与所述底板之间具有间距。
2.如权利要求1所述的载板,其特征在于,所述覆盖板通过所述固定板设于所述基础板上时,所述连接板与所述侧板的内壁贴合,所述承载板围绕所述侧板形成避位孔。
3.如权利要求1所述的载板,其特征在于,所述承载板为中空结构,在所述承载板远离所述底板的表壁设置有与所述承载板的中空结构连通的抽气孔。
4.如权利要求3所述的载板,其特征在于,所述抽气孔的直径为100nm~1000nm。
5.如权利要求1~4任一项所述的载板,其特征在于,所述覆盖板为中空结构。
6.如权利要求1~4任一项所述的载板,其特征在于,所述覆盖板为玻璃板或陶瓷板。
7.一种载板组件,其特征在于,包括依次连接的多个载板,其中至少一个所述载板为如权利要求1~6任一项所述的载板。
8.如权利要求7所述的载板组件,其特征在于,多个所述载板以所述侧板贴合的方式相互连接。
9.如权利要求7所述的载板组件,其特征在于,多个所述载板呈多行多列阵列分布;和/或
各所述载板均为如权利要求1~6任一项所述的载板。
10.如权利要求7所述的载板组件,其特征在于,至少有相邻的两个载板为如权利要求1~6任一项所述的载板且所述相邻的两个载板中的两个所述固定板卡合连接。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的