[实用新型]一种光刻板

权利要求书

1.一种光刻板，其特征在于，包括非芯片区以及围绕所述非芯片区设置的芯片区，所述非芯片区分别设于所述光刻板的两侧，所述非芯片区上设有对位标记单元，两个所述对位标记单元沿所述光刻板的其中一条中心轴线对称设置，所述对位标记单元包括并排设置的第一标记位和第二标记位，两个所述第一标记位之间的间距与两个所述第二标记位之间的间距不同。

2.根据权利要求1所述的光刻板，其特征在于，所述第一标记位与所述第二标记位均包括多个间隔设置的标记区。

3.根据权利要求2所述的光刻板，其特征在于，所述标记区包括第一标记点以及围绕所述第一标记点设置的第二标记点。

4.根据权利要求3所述的光刻板，其特征在于，所述第一标记位中，相邻两个所述第一标记点的形状不同。

5.根据权利要求3或4所述的光刻板，其特征在于，所述光刻板还包括设于所述第一标记点内的第三标记点。

6.根据权利要求1所述的光刻板，其特征在于，所述第一标记位呈矩形，所述第一标记位的长度为10～15mm。

7.根据权利要求1所述的光刻板，其特征在于，两个所述对位标记单元之间的间距大于晶圆半径的二分之一且小于晶圆半径的三分之二。

8.根据权利要求3所述的光刻板，其特征在于，相邻两个所述第二标记点的形状不同。

9.根据权利要求3所述的光刻板，其特征在于，所述第二标记位中，每个所述第一标记点的形状均不相同。

10.根据权利要求1所述的光刻板，其特征在于，两个所述对位标记单元设于所述光刻板的另一条中心轴线上，以当所述光刻板盖设于晶圆上时，所述晶圆处于所述光刻板的中心区域。