[实用新型]一种用于机台中孔口的侦测系统

权利要求书

1.一种用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，包括：

机台处理器；

鼓风机；

门阀单元DVU，所述DVU为与所述机台处理器通信；

门部件，所述门部件通过所述DVU打开；

孔口阀，所述孔口阀通过气管与清洁干燥空气CDA的进气口连接并且所述孔口阀的打开和关闭受到所述CDA压力的控制；

气动阀单元PVU，所述PVU与所述机台处理器通信并且与所述气管连接，所述PVU被配置为关闭通往所述孔口阀的所述CDA以使所述CDA的压力为零，从而使所述孔口阀常开；以及

侦测装置，所述侦测装置被配置为接收所述门部件的打开信号并对所述CDA进行侦测，当在应该使所述CDA的压力为零的情况下侦测到所述CDA存在压力并且所述CDA的压力超过预设阈值时发出警报并断开所述鼓风机以使所述机台宕机。

2.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述侦测系统还包括：

压力计，所述压力计串入连接到所述孔口阀连接的所述气管并且用于监测所述气管内的所述CDA的压力。

3.根据权利要求2所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述侦测装置包括控制器和面板，所述控制器被配置为接收所述门部件的打开信号且接收所述压力计监测的所述CDA的压力的信号，所述控制器与所述面板交互信息，所述面板与所述鼓风机通信并在所述CDA的压力超过预设阈值时断开鼓风机而造成所述机台宕机。

4.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，当所述孔口阀常开时流出N₂并通过N₂清除晶圆所在腔室内的O₂。

5.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述DVU的内部设置有电磁阀。

6.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述PVU的内部设置有电磁阀。

7.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述孔口阀在所述CDA的压力不为零时关闭。

8.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述预设阈值至少为5PSI。

9.根据权利要求1所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述侦测系统还包括：

传感器，所述传感器用于感测所述门部件打开的信号。

10.根据权利要求9所述的用于机台中孔口的侦测系统，其特征在于，所述侦测系统还包括：

指示灯，所述指示灯与所述传感器连接并且在所述传感器感测到所述门部件打开时点亮进行指示。