[实用新型]一种用于机台中孔口的侦测系统

说明书

本实用新型涉及一种用于机台中孔口的侦测系统，包括机台处理器；鼓风机；DVU，其与机台处理器通信；门部件，其通过DVU打开；孔口阀，其通过气管与CDA进气口连接并且孔口阀的开关受到CDA压力的控制；PVU，其与机台处理器通信且与气管连接并配置为关闭通往孔口阀的CDA以使CDA的压力为零，以使孔口阀常开；侦测装置，其配置为接收门部件的打开信号并对CDA进行侦测，当在应该使CDA的压力为零的情况下侦测到CDA存在压力并且压力超过预设阈值时断开鼓风机以使机台宕机。本实用新型可以在机台的PVU板异常时对通往孔口阀的CDA进行侦测，并由此在侦测到CDA异常时及时发出警报并使机台宕机，从而保护晶圆产品。

技术领域

本实用新型涉及侦测系统，并且更具体地，涉及一种用于机台中孔口的侦测系统。

背景技术

HJTC RTP-53机台往往因为PVU(pneumatic valve unit，气动阀单元板)异常，会导致腔室内氧气含量超标造成晶圆产率低。在检查时发现PVU板异常(控制通往孔口阀的CDA(clean dry air，清洁干燥空气)的电磁阀元件未正常打开，长时间频繁切换，造成失效)，进而导致孔口阀无法正常打开，腔室内氧气含量超标，导致产品出现晶边颜色异常。HJTC RTP-53机台的孔口后方无MFC(质量流量计)控制流量，只能靠PVU电磁阀控制气动阀开关孔口，因此若PVU控制孔口这一路电磁阀失效，则会直接导致腔室氧气超标，造成产品异常，并且由于缺少侦测影响范围广，损失较大。

因此，一种用于机台中孔口的侦测系统是令人期望的。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于机台中孔口的侦测系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型的方面，提供一种用于机台中孔口的侦测系统，包括：

机台处理器；

鼓风机；

门阀单元DVU，该DVU为与机台处理器通信；

门部件，该门部件通过DVU打开；

孔口阀，该孔口阀通过气管与清洁干燥空气CDA的进气口连接并且该孔口阀的打开和关闭受到CDA压力的控制；

气动阀单元PVU，该PVU与机台处理器通信并且与气管连接，PVU被配置为关闭通往孔口阀的所述CDA以使CDA的压力为零，从而使孔口阀常开；以及

侦测装置，该侦测装置被配置为接收门部件的打开信号并对CDA进行侦测，当在应该使CDA的压力为零的情况下侦测到CDA存在压力并且CDA的压力超过预设阈值时发出警报并断开鼓风机以使机台宕机。

在本实用新型的一个实施例中，侦测系统还包括：

压力计，该压力计串入连接到孔口阀连接的气管并且用于监测气管内的CDA的压力。

在本实用新型的一个实施例中，侦测装置包括控制器和面板，控制器被配置为接收门部件的打开信号且接收压力计监测的CDA的压力的信号，控制器与面板交互信息，面板与鼓风机通信并在CDA的压力超过预设阈值时断开鼓风机而造成机台宕机。

在本实用新型的一个实施例中，当孔口阀常开时流出N₂并通过N₂清除晶圆所在腔室内的O₂。

在本实用新型的一个实施例中，DVU的内部设置有电磁阀。

在本实用新型的一个实施例中，PVU的内部设置有电磁阀。

在本实用新型的一个实施例中，孔口阀在CDA的压力不为零时关闭。

在本实用新型的一个实施例中，预设阈值至少为5PSI。