[实用新型]一种旋转晶振转盘侦测装置

权利要求书

1.一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：包括真空腔体(18)、晶振转盘(17)、坩埚Ⅰ(12)和坩埚Ⅱ(13)，晶振转盘(17)、坩埚Ⅰ(12)和坩埚Ⅱ(13)均位于真空腔体(18)中，晶振转盘(17)的侧面上设有侧面晶振片(15)用于侦测坩埚Ⅰ(12)的蒸发速率，晶振转盘(17)的底面上设有平面晶振片(16)，用于侦察坩埚Ⅱ(13)的蒸发速率，侧面晶振片(15)与平面晶振片(16)垂直。

2.如权利要求1所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述侦测装置还包括设置在晶振转盘(17)外侧的罩壳、准直管Ⅰ(141)和准直管Ⅱ(142)，罩壳的侧面上设有使侧面晶振片(15)露出的开口Ⅰ，罩壳的侧面上设有使平面晶振片(16)露出的开口Ⅱ，准直管Ⅰ(141)的一端与开口Ⅰ连通，准直管Ⅰ(141)的另一端对准坩埚Ⅰ(12)，准直管Ⅱ(142)的一端与开口Ⅱ连通，准直管Ⅱ(142)的另一端对准坩埚Ⅱ(13)。

3.如权利要求2所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述开口Ⅰ的大小与一个侧面晶振片(15)的大小一致，开口Ⅱ的大小与一个平面晶振片(16)的大小一致，晶振转盘(17)通过电机驱动在罩壳中转动。

4.如权利要求3所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述晶振转盘(17)设置在坩埚Ⅰ(12)和坩埚Ⅱ(13)的上方，且位于坩埚Ⅰ(12)与坩埚Ⅱ(13)之间，晶振转盘(17)与坩埚Ⅰ(12)和坩埚Ⅱ(13)连线构成直角三角形结构，晶振转盘(17)位于两直角边的交点，坩埚Ⅰ(12)和坩埚Ⅱ(13)分别位于斜边的两端点处。

5.如权利要求2至4任意一项所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述晶振转盘(17)包括晶振片载盘(1)、晶振片信号通道载盘(2)、数据处理器(9)和基座(21)，数据处理器(9)安装在基座(21)上，晶振片信号通道载盘(2)的一端与数据处理器(9)连接，晶振片信号通道载盘(2)的另一端与晶振片载盘(1)连接，基座(21)连接在电机的输出轴上，电机带动基座(21)转动进而驱动晶振转盘(17)转动并控制晶振转盘(17)转动角度。

6.如权利要求5所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述晶振转盘(17)还包括固定螺栓(3)和细杆螺丝(5)，晶振片载盘(1)与晶振片信号通道载盘(2)通过细杆螺丝(5)紧固连接在一起，晶振片信号通道载盘(2)和数据处理器(9)均设有与固定螺栓(3)配合的安装孔，晶振片信号通道载盘(2)和数据处理器(9)通过固定螺栓(3)与安装孔配合紧固连接在一起。

7.如权利要求5所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述晶振片载盘(1)上远离晶振片信号通道载盘(2)一端的端面上设有平面晶振片安装孔(4)，晶振片载盘(1)的侧面上设有侧面晶振片安装孔(6)，平面晶振片(16)插接在平面晶振片安装孔(4)中，侧面晶振片(15)插接在侧面晶振片安装孔(6)中。

8.如权利要求7所述的一种旋转晶振转盘侦测装置，其特征在于：所述晶振片信号通道载盘(2)中设有导线Ⅰ(22)、导线Ⅱ(23)、侧面晶振侦测信号连接端子(7)和平面晶振侦测信号连接端子(8)，导线Ⅰ(22)的一端与侧面晶振片(15)连接，导线Ⅰ(22)的另一端与侧面晶振侦测信号连接端子(7)连接，导线Ⅱ(23)的一端与平面晶振片(16)连接，导线Ⅱ(23)的一端与平面晶振侦测信号连接端子(8)连接，侧面晶振侦测信号连接端子(7)和平面晶振侦测信号连接端子(8)与数据处理器(9)连接。