[实用新型]一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置有效
| 申请号： | 202220557577.2 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN217459565U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王杰;常飞;杜炳纯;张殿德 | 申请（专利权）人： | 森霸传感科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 余志军 |
| 地址： | 473300*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 红外 真空镀膜 蒸发 装置 | ||
1.一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置，包括支撑板(1)，支撑板(1)的底部设置有电机(2)，电机(2)的轴端贯穿支撑板(1)并圆周分布有多组蒸发块(3)，其特征在于：所述蒸发块(3)的底部固定安装有两组套管(4)，套管(4)的内侧活动插接有与蒸发块(3)电阻板电连接的电极柱(5)，所述电极柱(5)与套管(4)的内壁之间抵接有弹簧(6)，所述套管(4)的外壁沿电极柱(5)的插接方向开设有导孔(7)，所述电极柱(5)的外壁上螺纹连接有设置在导孔(7)内侧的导向螺栓(8)，所述支撑板(1)的顶部固定安装有两组固定块(9)，固定块(9)的顶部设置有与电极柱(5)相对应的电极片(10)，电极片(10)通过导线与外部电源连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置，其特征在于：所述电极柱(5)的底部内嵌有滚珠(11)，所述固定块(9)的顶部设置有用于容纳滚珠(11)的滑槽(12)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置，其特征在于：所述电极柱(5)的底部呈球形结构，每组所述固定块(9)上的电极片(10)设置有两组且对称分布在所述滑槽(12)的两侧。
4.根据权利要求3所述的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置，其特征在于：每组所述固定块(9)上的两组电极片(10)的相对面均设置有弧形坡面(13)，所述弧形坡面能够与电极柱(5)的球型结构底端贴合。
5.根据权利要求1所述的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置，其特征在于：所述电极片(10)通过螺栓或粘接与固定块(9)固定连接。
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