[实用新型]一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置有效
申请号: | 202220557577.2 | 申请日: | 2022-03-15 |
公开(公告)号: | CN217459565U | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 王杰;常飞;杜炳纯;张殿德 | 申请(专利权)人: | 森霸传感科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 余志军 |
地址: | 473300*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 红外 真空镀膜 蒸发 装置 | ||
本实用新型涉及蒸发装置技术领域,尤其是一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置,包括支撑板,支撑板的底部设置有电机,电机的轴端贯穿支撑板并圆周分布有多组蒸发块,所述蒸发块的底部固定安装有两组套管,套管的内侧活动插接有与蒸发块电阻板电连接的电极柱,本实用新型中通过设置的滑动连接的电极柱在弹簧的抵接下能够始终与电极片相抵接,相对于现有技术中固定连接的方式,本实用新型通过弹簧做来做间隙补偿,保证了电极柱与电极片的导电稳定性,当电极柱磨损严重后,可通过拆卸导向螺栓将其从套管的内部取出进行更换,操作简单,且实用性较强。
技术领域
本实用新型涉及蒸发装置技术领域,尤其涉及一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置。
背景技术
中国专利公开号“CN210560698U”公开了一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其技术方案要点是包括支撑板、转轴、固定连接在支撑板底部的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的竖板以及固定连接在竖板顶部的密封板,对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。
该专利虽能减小蒸发空的污染,但是由于蒸发块不断的旋转与电极柱抵接,长时间接触后极易导致电极柱磨损,从而发生接触不良的情况,严重影响成膜质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在上述缺点,而提出的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
设计一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置,包括支撑板,支撑板的底部设置有电机,电机的轴端贯穿支撑板并圆周分布有多组蒸发块,所述蒸发块的底部固定安装有两组套管,套管的内侧活动插接有与蒸发块电阻板电连接的电极柱,所述电极柱与套管的内壁之间抵接有弹簧,所述套管的外壁沿电极柱的插接方向开设有导孔,所述电极柱的外壁上螺纹连接有设置在导孔内侧的导向螺栓,所述支撑板的顶部固定安装有两组固定块,固定块的顶部设置有与电极柱相对应的电极片,电极片通过导线与外部电源连接。
优选的,所述电极柱的底部内嵌有滚珠,所述固定块的顶部设置有用于容纳滚珠的滑槽。
优选的,所述电极柱的底部呈球形结构,每组所述固定块上的电极片设置有两组且对称分布在所述滑槽的两侧。
优选的,每组所述固定块上的两组电极片的相对面均设置有弧形坡面,所述弧形坡面能够与电极柱的球型结构底端贴合。
优选的,所述电极片通过螺栓或粘接与固定块固定连接。
本实用新型提出的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置,有益效果在于:本实用新型中通过设置的滑动连接的电极柱在弹簧的抵接下能够始终与电极片相抵接,相对于现有技术中固定连接的方式,本实用新型通过弹簧做来做间隙补偿,保证了电极柱与电极片的导电稳定性,当电极柱磨损严重后,可通过拆卸导向螺栓将其从套管的内部取出进行更换,操作简单,且实用性较强。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置的A区放大结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置的固定块结构示意图。
图中:1、支撑板;2、电机;3、蒸发块;4、套管;5、电极柱;6、弹簧;7、导孔;8、导向螺栓;9、固定块;10、电极片;11、滚珠;12、滑槽;13、弧形坡面。
具体实施方式
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