[实用新型]一种硅片储存清洁装置

权利要求书

1.一种硅片储存清洁装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部设置有抽屉(2)，所述抽屉(2)的右侧固定连接有横板(3)，所述箱体(1)内壁的右侧固定连接有密封圈组(4)，所述密封圈组(4)的表面与抽屉(2)的表面接触，所述箱体(1)内壁的顶部开设有放置槽一(5)，所述放置槽一(5)内壁的顶部固定连接有分流板(6)，所述分流板(6)的输入端贯穿至箱体(1)的左侧，所述箱体(1)的左侧固定连接有水箱(7)，所述水箱(7)的顶部通过通管连通有水泵(8)，所述水泵(8)的输出端通管通管与分流板(6)的输入端连通，所述箱体(1)内壁的底部开设有集水槽(9)，所述箱体(1)左侧的底部连通有电磁阀(10)，所述抽屉(2)内壁的前侧与后侧均固定连接有橡胶块(11)，所述橡胶块(11)的数量为若干个，且若干个橡胶块(11)呈等距离分布，所述箱体(1)内壁的前侧与后侧均开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)的内部设置有滑块(13)，所述滑块(13)的表面固定连接在抽屉(2)的表面。

2.根据权利要求1所述的一种硅片储存清洁装置，其特征在于：所述水箱(7)的前侧固定连接有透明板(14)，所述透明板(14)的高度小于水箱(7)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种硅片储存清洁装置，其特征在于：所述水箱(7)的底部固定连接有加固板(15)，所述加固板(15)的右侧固定连接在箱体(1)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片储存清洁装置，其特征在于：所述集水槽(9)内壁的底部固定连接有导流板(16)，所述导流板(16)的形状为三角形。

5.根据权利要求1所述的一种硅片储存清洁装置，其特征在于：所述横板(3)的右侧固定连接有把手(17)，所述把手(17)的高度小于横板(3)的高度。

6.根据权利要求1所述的一种硅片储存清洁装置，其特征在于：所述滑块(13)的内部固定连接有滑轮组(18)，所述滑轮组(18)的表面与滑槽(12)的内壁接触。