[实用新型]一种硅片储存清洁装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片储存清洁装置，包括箱体，箱体的内部设置有抽屉，抽屉的右侧固定连接有横板，箱体内壁的右侧固定连接有密封圈组，密封圈组的表面与抽屉的表面接触，箱体内壁的顶部开设有放置槽一，放置槽一内壁的顶部固定连接有分流板，分流板的输入端贯穿至箱体的左侧，箱体的左侧固定连接有水箱，水箱的顶部通过通管连通有水泵，水泵的输出端通管通管与分流板的输入端连通，箱体内壁的底部开设有集水槽。本实用新型具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片技术领域，具体为一种硅片储存清洁装置。

背景技术

在硅片生产过程中需要用到储存装置，传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种硅片储存清洁装置，具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片储存清洁装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有抽屉，所述抽屉的右侧固定连接有横板，所述箱体内壁的右侧固定连接有密封圈组，所述密封圈组的表面与抽屉的表面接触，所述箱体内壁的顶部开设有放置槽一，所述放置槽一内壁的顶部固定连接有分流板，所述分流板的输入端贯穿至箱体的左侧，所述箱体的左侧固定连接有水箱，所述水箱的顶部通过通管连通有水泵，所述水泵的输出端通管通管与分流板的输入端连通，所述箱体内壁的底部开设有集水槽，所述箱体左侧的底部连通有电磁阀，所述抽屉内壁的前侧与后侧均固定连接有橡胶块，所述橡胶块的数量为若干个，且若干个橡胶块呈等距离分布，所述箱体内壁的前侧与后侧均开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的表面固定连接在抽屉的表面。

作为本实用新型优选的，所述水箱的前侧固定连接有透明板，所述透明板的高度小于水箱的高度。

作为本实用新型优选的，所述水箱的底部固定连接有加固板，所述加固板的右侧固定连接在箱体的表面。

作为本实用新型优选的，所述集水槽内壁的底部固定连接有导流板，所述导流板的形状为三角形。

作为本实用新型优选的，所述横板的右侧固定连接有把手，所述把手的高度小于横板的高度。

作为本实用新型优选的，所述滑块的内部固定连接有滑轮组，所述滑轮组的表面与滑槽的内壁接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置箱体、抽屉、横板、密封圈组、放置槽一、分流板、水箱、水泵、集水槽、电磁阀、橡胶块、滑槽和滑块的配合使用，具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。

2、本实用新型通过设置透明板，能够对水箱内部的清洁液进行观察，避免水箱内部的清洁液出现无法被观察的现象。

3、本实用新型通过设置加固板，能够对水箱进行支撑，避免水箱长期使用导致其出现松动的现象，提高了水箱的稳定性。

4、本实用新型通过设置导流板，能够集水槽内部的清洁液进行导流，避免集水槽的内部出现有残留清洁液的现象。

5、本实用新型通过设置把手，能够便于使用者拉动横板和抽屉，避免横板出现难以被拉动的现象，提高了横板的移动效率。