[实用新型]芯片位置调节装置以及芯片测试设备有效
申请号: | 202220563260.X | 申请日: | 2022-03-15 |
公开(公告)号: | CN217303869U | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 杨建设;张雅凯;彭磊 | 申请(专利权)人: | 昆山思特威集成电路有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;B25B11/00 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 翁唱玲 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 位置 调节 装置 以及 测试 设备 | ||
1.一种芯片位置调节装置,其特征在于,包括:
安装座,所述安装座具有容纳芯片的安装槽,所述安装槽的底壁设有多个间隔分布的第一孔组,各个所述第一孔组包含至少一个第一孔;
气动组件,所述气动组件包含气管接头,所述第一孔和所述气管接头相互连通;
控制组件,所述控制组件和所述气动组件电性连接,所述气动组件通过所述第一孔对所述芯片吹气,用于调节所述芯片在所述安装槽中的位置。
2.根据权利要求1所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述气动组件还包含有一个气腔,所述气腔的一端和所述安装槽通过各个所述第一孔相互连通,所述气腔的另一端和所述气管接头相互连通。
3.根据权利要求1所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述气动组件还包含有多个相互隔绝的气腔,所述气管接头的数量为多个,各个所述气腔的一端和所述第一孔相互连通,各个所述气腔的另一端和各个所述气管接头一一对应地相互连通。
4.根据权利要求2或3所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述气动组件还包含气阀,所述气阀和所述气腔一一对应连接。
5.根据权利要求4所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述芯片位置调节装置还包含多个探针孔,多个所述探针孔间隔分布于所述安装槽的底壁,所述第一孔和所述探针孔间隔且均匀设置。
6.根据权利要求5所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述安装槽的底壁设有限位部,所述限位部用于对所述芯片进行限位。
7.根据权利要求6所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述限位部设有斜面部,所述斜面部用于对所述芯片导向放入所述安装槽。
8.根据权利要求7所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述气动组件还包含气流量检测组件,所述气流量检测组件和所述气阀一一对应设置。
9.根据权利要求8所述的芯片位置调节装置,其特征在于,所述安装槽的底壁还设有多个间隔分布的第二孔组,所述第二孔组包含至少一个第二孔,且所述第二孔和所述第一孔以及所述探针孔间隔布置,并且,所述第二孔组和所述第一孔组用于对所述芯片进行吸气,使得所述芯片吸附于所述安装槽的底壁;
或,所述第二孔组对所述芯片进行吸气,使得所述芯片吸附于所述安装槽的底壁。
10.一种芯片测试设备,其特征在于,所述芯片测试设备包含权利要求1-9中任一项所述的芯片位置调节装置。
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