[实用新型]一种光刻胶管道清洗液回收利用系统

权利要求书

1.一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：

包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，所述溶剂回收罐与所述精馏塔及所述冷凝器连接，所述冷凝器与所述精馏塔连接，所述精馏塔与所述废液罐连接，所述废液罐与所述反应釜及所述成品罐连接，所述成品罐与所述反应釜连接，所述反应釜与所述溶剂罐连接；

所述溶剂回收罐的出料口与所述成品罐及所述反应釜通过循环管路连接，所述循环管路与所述反应釜及成品罐连接，所述成品罐和所述反应釜内均设置有喷淋清洗球，所述喷淋清洗球与所述循环管路连接；

所述废液罐设置在所述反应釜及所述成品罐的下方。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述溶剂罐和所述反应釜之间设置有溶剂打料泵。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述反应釜和所述成品罐之间设置有胶液打料管，所述成品罐的底部设置有成品灌装口。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述废液罐和所述精馏塔之间设置有废液泵。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述循环管路上连接有循环泵。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，其特征在于：所述反应釜的侧壁上设置有温控夹套，所述反应釜的内部设置有搅拌桨。