[实用新型]一种光刻胶管道清洗液回收利用系统

说明书

本实用新型公开了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，溶剂回收罐与精馏塔及冷凝器连接，冷凝器与精馏塔连接，精馏塔与废液罐连接，废液罐与反应釜及成品罐连接，成品罐与反应釜连接，反应釜与溶剂罐连接；溶剂回收罐的出料口与成品罐及反应釜通过循环管路连接，循环管路与反应釜及成品罐连接，成品罐和反应釜内均设置有喷淋清洗球，喷淋清洗球与循环管路连接；废液罐设置在反应釜及成品罐的下方。本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体光刻胶技术领域，尤其是涉及一种光刻胶管道清洗液回收利用系统。

背景技术

因光刻胶的粘度较大，在光刻胶生产过程中会在管道及设备的内壁上残留部分胶液，导致产率无法进一步提升。另外由于光刻胶的需求量限制，使光刻胶的生产属于间歇性生产，所以在每批次光刻胶生产后需要将整条光刻胶产线的管道和设备清洗干净，以保证下一批次胶液不被上一批次的产品污染。

目前，管道及设备中残留的光刻胶一般采用有机溶剂长时间浸泡来去除。但此处理方式有两大缺点：一是浸泡时间长，耗时；二是有机溶剂需求量太大，不经济。因此，开发一种能够实现光刻胶管道循环清洗及较少溶剂浪费的生产系统极为迫切。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，所述溶剂回收罐与所述精馏塔及所述冷凝器连接，所述冷凝器与所述精馏塔连接，所述精馏塔与所述废液罐连接，所述废液罐与所述反应釜及所述成品罐连接，所述成品罐与所述反应釜连接，所述反应釜与所述溶剂罐连接；

所述溶剂回收罐的出料口与所述成品罐及所述反应釜通过循环管路连接，所述循环管路与所述反应釜及成品罐连接，所述成品罐和所述反应釜内均设置有喷淋清洗球，所述喷淋清洗球与所述循环管路连接；

所述废液罐设置在所述反应釜及所述成品罐的下方。

优选的，所述溶剂罐和所述反应釜之间设置有溶剂打料泵。

优选的，所述反应釜和所述成品罐之间设置有胶液打料管，所述成品罐的底部设置有成品灌装口。

优选的，所述废液罐和所述精馏塔之间设置有废液泵。

优选的，所述循环管路上连接有循环泵。

优选的，所述反应釜的侧壁上设置有温控夹套，所述反应釜的内部设置有搅拌桨。

因此，本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本实用新型一种光刻胶管道清洗液回收利用系统实施例的流程示意图。

具体实施方式

以下通过附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步说明。