[实用新型]带有椭球形反射器的同轴电子探测器及扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器，其特征在于，包括同轴电子探测器本体和椭球形反射器，所述椭球形反射器包括托盘和反射面向下的椭球形反射镜，所述托盘具有中心孔，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的四周与所述托盘的底部连接，所述托盘顶部位于所述椭球形反射镜的上侧焦点的下方，所述同轴电子探测器本体位于所述托盘的顶部。

2.根据权利要求1所述的带有椭球形反射器的同轴电子探测器，其特征在于，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的边缘与所述托盘的底部连接。

3.根据权利要求1所述的带有椭球形反射器的同轴电子探测器，其特征在于，所述中心孔的正投影与所述同轴电子探测器本体的有效探测区域的正投影重合。

4.根据权利要求1所述的带有椭球形反射器的同轴电子探测器，其特征在于，所述椭球形反射镜的反射面上设置有镀金层。

5.根据权利要求4所述的带有椭球形反射器的同轴电子探测器，其特征在于，所述镀金层的厚度为0.3～0.6微米。

6.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括根据权利要求1-5任一所述的带有椭球形反射器的同轴电子探测器，所述椭球形反射镜的下侧焦点位于所述扫描电子显微镜的样品台的承载面上。

7.根据权利要求6所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述带有椭球形反射器的同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒内。

8.根据权利要求6所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述带有椭球形反射器的同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒外。