[实用新型]带有椭球形反射器的同轴电子探测器及扫描电子显微镜

说明书

本实用新型公开了一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器及具有该同轴探测器的扫描电子显微镜，包括同轴电子探测器本体和椭球形反射器，所述椭球形反射器包括托盘和椭球形反射镜，所述托盘具有中心孔，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的四周与所述托盘的底部连接，所述托盘顶部位于所述椭球形反射镜的上侧焦点的下方，所述同轴电子探测器本体位于所述托盘的顶部。本实用新型在现有同轴电子探测器的基础上增加椭球形反射器，利用椭球形反射镜所具有的从其中一个焦点发射的光或电子会在另一焦点会聚的特性，对超过同轴电子探测器探测尺寸的信号电子进行会聚，使其向同轴电子探测器探测尺寸内反射，大大提高了同轴电子探测器的探测效率。

技术领域

本实用新型涉及扫描电子显微镜技术领域，特别是涉及一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器及具有该同轴电子探测器的扫描电子显微镜。

背景技术

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，缩写为SEM)，简称扫描电镜，是利用聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分析仪器。

电子探测器是扫描电子显微镜中用于探测物理信号中的二次电子和背散射电子等信号电子的探测器，其中同轴电子探测器设置在样品台的正上方，位于镜筒内或镜筒外，用于探测向镜筒方向反射的二次电子和背散射电子。

目前，国内大部分电镜厂商无法自己生产同轴电子探测器，只能从其他供应商处购买，这使得同轴电子探测器的尺寸无法根据放置位置和电子光学系统灵活地选择尺寸，使得探测器的探测效率大大受限。

实用新型内容

本实用新型的目的至少在于提供一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器及具有该同轴电子探测器的扫描电子显微镜，以提高同轴电子探测器的探测效率。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器，包括同轴电子探测器本体和椭球形反射器，所述椭球形反射器包括托盘和反射面向下的椭球形反射镜，所述托盘具有中心孔，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的四周与所述托盘的底部连接，所述托盘顶部位于所述椭球形反射镜的上侧焦点的下方，所述同轴电子探测器本体位于所述托盘的顶部。

优选地，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的边缘与所述托盘的底部连接。

优选地，所述中心孔的正投影与所述同轴电子探测器本体的有效探测区域的正投影重合。

优选地，所述椭球形反射镜的反射面上设置有镀金层。

可选地，所述镀金层的厚度为0.3～0.6微米。

第二方面，本实用新型提供一种扫描电子显微镜，包括有前述任一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器，所述椭球形反射镜的下侧焦点位于所述扫描电子显微镜的样品台的承载面上。

可选地，所述带有椭球形反射器的同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒内。

可选地，所述带有椭球形反射器的同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒外。

本实用新型提供的带有椭球形反射器的同轴电子探测器及具有该同轴探测器的扫描电子显微镜，在现有同轴电子探测器的基础上增加椭球形反射器，利用椭球形反射镜所具有的从其中一个焦点发射的光或电子会在另一焦点会聚的特性，对超过同轴电子探测器探测尺寸的信号电子进行会聚，使其向同轴电子探测器探测尺寸内反射，大大提高了同轴电子探测器的探测效率。

根据下文结合附图对本实用新型的具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

附图说明