[实用新型]一种晶圆分选设备

权利要求书

1.一种晶圆分选设备，包括机架(1)，机架(1)设有上料工位、分选工位，其特征在于，所述分选设备还包括：

安装于上料工位处的上料机构(2)，该上料机构(2)悬装于一架子上，其设有第一XYZ三轴联动机构及安装于所述第一XYZ三轴联动机构上的晶圆盘夹持机构(25)和Bin盘夹持机构(26)；

晶圆平台机构(3)，具有安装于所述机架(1)上的第一底座(31)、安装于所述第一底座(31)上的第一YZ轴运动模组，所述第一YZ轴运动模组驱动连接有晶盘组件，所述晶盘组件上分别安装有晶圆固定机构(34)、光源(35)和吸嘴擦拭装置(36)；

晶圆顶针机构(4)，安装于所述第一底座(31)上，具有第二XYZ三轴联动机构和安装于所述第二XYZ三轴联动机构上的顶针固定组件，所述顶针固定组件上可拆卸的安装有顶针(46)；

摆臂机构(5)，设于所述分选工位，具有第二底座(51)、安装于所述第二底座(51)上的第一θ轴机构(52)、安装于所述第一θ轴机构(52)并被所述第一θ轴机构(52)驱动做旋转运动的旋转支架，所述旋转支架上对称的安装有第一摆臂(53)和第二摆臂(54)；

Bin盘平台机构(6)，具有固定所述机架(1)上的第三底座(61)、装设于所述第三底座(61)上的第二YZ轴运动模组、与所述第二YZ轴运动模组驱动连接的第二θ轴机构(64)，所述第二θ轴机构(64)驱动连接Bin盘组件，所述Bin盘组件上设置有Bin盘固定机构(65)和光源(66)；

安装于第三底座(61)上的Bin盘顶膜机构(7)，该Bin盘顶膜机构(7)具有第三X轴运动模组(71)、与所述第三X轴运动模组(71)驱动连接并被所述第三X轴运动模组(71)驱动做X轴向运动的顶膜机构(72)；

安装于第二底座(51)上的CCD对位系统(8)，该CCD对位系统(8)具有第一CCD视觉模块(81)、第二CCD视觉模块(82)，所述第一CCD视觉模块(81)与所述第一摆臂(53)、第二摆臂(54)、顶针(46)的中心重合，所述第二CCD视觉模块(82)与所述第一摆臂(53)、第二摆臂(54)的中心重合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第一XYZ三轴联动机构包括：

第一X轴运动模组(21)；

与所述第一X轴运动模组(21)驱动连接并被所述第一X轴运动模组(21)驱动做X轴向运动的第一Y轴运动模组(22)，所述第一Y轴运动模组(22)驱动连接有第一Y轴活动部；

第一Z轴机构(23)和第二Z轴机构(24)，分别安装于所述第一Y轴活动部的左侧和右侧；

晶圆盘夹持机构(25)，和所述第一Z轴机构(23)驱动连接；

Bin盘夹持机构(26)，和所述第二Z轴机构(24)驱动连接；

所述第一X轴运动模组(21)安装于架子上，其动力源为第一同步带电机，该第一同步带电机通过同步带组件驱动连接X轴向活动部；

所述第一Y轴运动模组(22)安装于所述X轴向活动部，其动力源为第二同步带电机，该第二同步带电机驱动连接Y轴向活动部；

所述第一Z轴机构(23)的动力源为第三同步带电机，该第三同步带电机驱动连接有第一Z轴活动部，所述第一Z轴活动部安装所述晶圆盘夹持机构(25)；

所述第二Z轴机构(24)的动力源为第四同步带电机，该第四同步带电机驱动连接有第二Z轴活动部，所述第二Z轴活动部安装所述Bin盘夹持机构(26)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述晶圆盘夹持机构(25)的动力源为第一夹持气缸，该第一夹持气缸驱动连接有第一夹子，该第一夹子用于夹持第一晶圆盘；

所述Bin盘夹持机构(26)的动力源为第二夹持气缸，该第二夹持气缸驱动连接有第二夹子，该第二夹子用于夹持第二晶圆盘。