[实用新型]一种玻璃基板清洗设备

权利要求书

1.一种玻璃基板清洗设备，其特征在于，包括：

药液清洗单元，其包括药液段，所述药液段包括盘刷机构；

纯水清洗单元，设置在所述药液清洗单元的尾端；

二流体漂洗单元，设置在所述纯水清洗单元尾端；及

干燥单元，设置于所述二流体漂洗单元的尾端；

其中，所述玻璃基板依次流经所述药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元以去除表面的污染物和颗粒物。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，还包括用于运输玻璃基板的输送带，所述药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元均设置在所述输送带上。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述药液清洗单元还包括位于所述药液段前端的喷淋段，所述喷淋段包括高压喷淋及边部喷淋，所述高压喷淋包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上喷淋和下喷淋，所述边部喷淋安装在所述输送带的两侧。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述盘刷机构为毛刷盘刷机构，所述药液段包括多组毛刷盘刷机构，所述药液段的入口侧设置有液切风刀，所述液切风刀包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上液切风刀和下液切风刀。

5.根据权利要求3或4所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述药液段的入口侧和出口侧均设置有阻水滚，所述阻水滚包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上阻水滚和下阻水滚。

6.根据权利要求2所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述纯水清洗单元包括盘刷段，所述盘刷段的入口侧设置有阻水滚和液切风刀，所述液切风刀包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上液切风刀和下液切风刀，所述阻水滚包括分别安装在所述输送带的上、下两侧的上阻水滚和下阻水滚。

7.根据权利要求2所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述二流体漂洗单元包括二流体喷淋，所述二流体喷淋包括安装在所述输送带上的液体喷淋和气体喷淋，所述气体喷淋设置在所述液体喷淋的后端。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述二流体漂洗单元还包括滚刷和喷淋，所述滚刷和所述喷淋设置在所述二流体喷淋的前端。

9.根据权利要求1所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述干燥单元为风刀干燥单元，所述风刀干燥单元包括风刀和控制气流方向的FFU控制单元。

10.根据权利要求2所述的玻璃基板清洗设备，其特征在于，所述输送带为滚轮输送带。