[实用新型]一种玻璃基板清洗设备

说明书

本实用新型提供一种玻璃基板清洗设备，具体涉及玻璃基板清洗领域。所述玻璃基板清洗设备包括药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元，所述药液清洗单元包括药液段，所述药液段包括盘刷机构；所述纯水清洗单元设置在所述药液清洗单元的尾端；所述二流体漂洗单元设置在所述纯水清洗单元的尾端；所述干燥单元设置于所述二流体漂洗单元的尾端；其中，所述玻璃基板依次流经所述药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元以去除表面的污染物和颗粒物。本实用新型的清洗设备可有效降低玻璃基板表面的污染物和颗粒物。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板清洗技术领域，具体涉及一种玻璃基板清洗设备。

背景技术

在TFT-LCD(液晶显示屏)玻璃基板生产过程中，一般采用清洗设备对玻璃表面的颗粒物、污染物进行冲刷清洗。目前的液晶玻璃基板清洗设备大多通过其投入单元将玻璃基板投入到输送带后，再经过纯水清洗后从输出单元输出，从而完成玻璃基板的整个清洗流程，以备输送至下一工序。为了提升清洗效果，通常会在设备中设置药液清洗单元及盘滚刷机构以增强污染物的去除能力，但药液易残留在玻璃表面，且药液在箱体之间窜流，影响玻璃基板的使用。因此，需要研发一种清洗设备以改善上述问题。

实用新型内容

鉴于以上现有技术的缺点，本实用新型提供一种玻璃基板清洗设备，以改善玻璃基板清洗不干净的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本实用新型提供一种玻璃基板清洗设备，包括药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元，所述药液清洗单元包括药液段，所述药液段包括盘刷机构；所述纯水清洗单元设置在所述药液清洗单元的尾端；所述二流体漂洗单元设置在所述纯水清洗单元的尾端；所述干燥单元设置于所述二流体漂洗单元的尾端；其中，所述玻璃基板依次流经所述药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元以去除表面的污染物和颗粒物。

在本实用新型一示例中，所述玻璃基板清洗设备还包括用于运输玻璃基板的输送带，所述药液清洗单元、纯水清洗单元、二流体漂洗单元及干燥单元均设置在所述输送带上。

在本实用新型一示例中，所述药液清洗单元还包括位于所述药液段前端的喷淋段，所述喷淋段包括高压喷淋及边部喷淋，所述高压喷淋包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上喷淋和下喷淋，所述边部喷淋安装在所述输送带的两侧。

在本实用新型一示例中，所述盘刷机构为毛刷盘刷机构，所述药液段包括多组毛刷盘刷机构，所述药液段的入口侧设置有液切风刀，所述液切风刀包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上液切风刀和下液切风刀。

在本实用新型一示例中，所述药液段的入口侧和出口侧均设置有阻水滚，所述阻水滚包括分别安装在所述输送带的上、下两侧的上阻水滚和下阻水滚。

在本实用新型一示例中，所述纯水清洗单元包括盘刷段，所述盘刷段的入口侧设置有阻水滚和液切风刀，所述液切风刀包括分别安装在所述输送带上、下两侧的上液切风刀和下液切风刀，所述阻水滚包括分别安装在所述输送带的上、下两侧的上阻水滚和下阻水滚。

在本实用新型一示例中，所述二流体漂洗单元包括二流体喷淋，所述二流体喷淋包括安装在所述输送带上的液体喷淋和气体喷淋，所述气体喷淋设置在所述液体喷淋的后端。

在本实用新型一示例中，所述二流体漂洗单元还包括滚刷和喷淋，所述滚刷和所述高压喷淋设置在所述二流体喷淋的前端。

在本实用新型一示例中，所述干燥单元为风刀干燥单元，所述风刀干燥单元包括风刀和控制气流方向的FFU控制单元。

在本实用新型一示例中，所述输送带为滚轮输送带。