[实用新型]一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构

权利要求书

1.一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其特征在于，包括花篮(1)以及位于花篮(1)一侧的底板(2)，底板(2)上固定有导轨(3)、支撑板(4)和机架(5)，支撑板(4)和机架(5)分别处于导轨(3)的两侧，导轨(3)上滑动安装有调节座(6)，调节座(6)上固定有基板(7)，基板(7)顶部两端均滑动安装有L型板(8)，底板(2)上还固定有气缸(9)，气缸(9)输出端与调节座(6)连接，还包括伸缩传输机构，所述伸缩传输机构包括两组导轮机构，套装在导轮机构上的传送带(10)以及用于驱动传送带(10)运转的电机(11)，导轮机构包括与L型板(8)靠近花篮(1)一端转动连接的调节轮一(12)、与L型板(8)靠近基板(7)一端转动连接的调节轮二(13)、与支撑板(4)转动连接的导轮一(14)以及与支架转动连接的多个导轮二(15)。

2.如权利要求1所述的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其特征在于，所述调节座(6)上安装有挡片(16)，底板(2)上固定有与挡片(16)配合的到位传感器(17)。

3.如权利要求2所述的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其特征在于，所述导轮机构还包括与支撑板(4)转动连接的导轮三(18)，导轮三(18)与导轮一(14)交错设置。