[实用新型]一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构

说明书

本实用新型涉及硅片传输附属装置的技术领域，特别是涉及一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其结构简单，可自动将不同尺寸的硅片输送到花篮处，提高搬运效率；包括花篮以及位于花篮一侧的底板，底板上固定有导轨、支撑板和机架，支撑板和机架分别处于导轨的两侧，导轨上滑动安装有调节座，调节座上固定有基板，基板顶部两端均滑动安装有L型板，还包括伸缩传输机构，伸缩传输机构包括两组导轮机构，套装在导轮机构上的传送带以及用于驱动传送带运转的电机，导轮机构包括与L型板靠近花篮一端转动连接的调节轮一、与L型板靠近基板一端转动连接的调节轮二、与支撑板转动连接的导轮一以及与支架转动连接的多个导轮二。

技术领域

本实用新型涉及硅片传输附属装置的技术领域，特别是涉及一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构。

背景技术

硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。

光伏组件工厂中，硅片需要从石墨舟运送到花篮，现有技术中，多采用人工的方式进行，搬运效率不高，并且还容易出现破损的情况。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其结构简单，可自动将不同尺寸的硅片输送到花篮处，提高搬运效率。

本实用新型的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，包括花篮以及位于花篮一侧的底板，底板上固定有导轨、支撑板和机架，支撑板和机架分别处于导轨的两侧，导轨上滑动安装有调节座，调节座上固定有基板，基板顶部两端均滑动安装有L型板，底板上还固定有气缸，气缸输出端与调节座连接，还包括伸缩传输机构，所述伸缩传输机构包括两组导轮机构，套装在导轮机构上的传送带以及用于驱动传送带运转的电机，导轮机构包括与L型板靠近花篮一端转动连接的调节轮一、与L型板靠近基板一端转动连接的调节轮二、与支撑板转动连接的导轮一以及与支架转动连接的多个导轮二。

进一步地，所述调节座上安装有挡片，底板上固定有与挡片配合的到位传感器。

进一步地，所述导轮机构还包括与支撑板转动连接的导轮三，导轮三与导轮一交错设置。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过本装置，可自动将硅片传送至花篮内部，并且同时还可以对不同尺寸的硅片进行适应，大大提高了传输效率。

附图说明

图1是本实用新型前视角度的立体图；

图2是本实用新型后视角度的立体图；

图3是图1中A部的局部放大图；

附图中标记：1、花篮；2、底板；3、导轨；4、支撑板；5、机架；6、调节座；7、基板；8、L型板；9、气缸；10、传送带；11、电机；12、调节轮一；13、调节轮二；14、导轮一；15、导轮二；16、挡片；17、到位传感器；18、导轮三。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图3所示，本实用新型的一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，包括花篮1以及位于花篮1一侧的底板2，底板2上固定有导轨3、支撑板4和机架5，支撑板4和机架5分别处于导轨3的两侧，导轨3上滑动安装有调节座6，调节座6上固定有基板7，基板7顶部两端均滑动安装有L型板8，底板2上还固定有气缸9，气缸9输出端与调节座6连接，还包括伸缩传输机构，伸缩传输机构包括两组导轮机构，套装在导轮机构上的传送带10以及用于驱动传送带10运转的电机11，导轮机构包括与L型板8靠近花篮1一端转动连接的调节轮一12、与L型板8靠近基板7一端转动连接的调节轮二13、与支撑板4转动连接的导轮一14以及与支架转动连接的多个导轮二15，传送带10的顶部与L型板8的顶面贴合，使得硅片在传输时，L型板8可对硅片进行一部分支撑；