[实用新型]一种单晶硅检测台装置

权利要求书

1.一种单晶硅检测台装置，包括检测平台支架(2)，其特征在于，所述检测平台支架(2)上设置有伺服移栽机构(1)，伺服移栽机构(1)上连接有升降气缸(6)，升降气缸(6)上连接有夹紧气缸(3)，夹紧气缸(3)之间设置有单晶硅棒(4)，检测平台支架(2)上设置有对射传感器(7)和聚氨酯支撑条(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅检测台装置，其特征在于，所述检测平台支架(2)的底部安装有四个支撑腿(21)，四个支撑腿(21)的底部均设置有胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅检测台装置，其特征在于，所述伺服移栽机构(1)包括两个传动轮(11)，两个传动轮(11)均转动安装在检测平台支架(2)的中心位置，两个传动轮(11)的外侧传动连接有同一个传动带(12)，检测平台支架(2)上设置有传动电机(13)，传动电机(13)的输出轴与一个传动轮(11)相连。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅检测台装置，其特征在于，所述升降气缸(6)设置在传动带(12)的外侧，滚轮支撑面(5)为多个且设置在升降气缸(6)的输出端。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅检测台装置，其特征在于，所述夹紧气缸(3)包括气缸和两个夹持手臂，单晶硅棒(4)位于两个夹持手臂之间，单晶硅棒(4)位于滚轮支撑面(5)的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅检测台装置，其特征在于，所述聚氨酯支撑条(8)为多个且均匀排布设置在检测平台支架(2)的顶部，对射传感器(7)为多个且设置在聚氨酯支撑条(8)的顶部。