[实用新型]一种单晶硅检测台装置有效
申请号: | 202220656154.6 | 申请日: | 2022-03-24 |
公开(公告)号: | CN216815391U | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 孟军刚;李东浩 | 申请(专利权)人: | 北京森沃克莱科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京一枝笔知识产权代理事务所(普通合伙) 11791 | 代理人: | 李德志 |
地址: | 100070 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 检测 装置 | ||
本实用新型属于单晶硅检测台技术领域,尤其是一种单晶硅检测台装置,针对目前生产上使用的检测平台功能比较简单,不能准确定位,不适合自动尺寸检测设备,不适合机器人自动上下料应用,检测台表面都是裸露的金属,容易划伤晶棒,各工位是否有晶棒不能进行识别的问题,现提出如下方案,其包括检测平台支架,检测平台支架上设置有伺服移栽机构,伺服移栽机构上连接有升降气缸,升降气缸上连接有夹紧气缸,夹紧气缸之间设置有单晶硅棒,检测平台支架上设置有对射传感器和聚氨酯支撑条。本实用新型可以实现整个加工设备晶棒上下料和检测过程的完全自动化,提高了工作效率并,且有效保护了工作人员不受伤害。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅检测台技术领域,尤其涉及一种单晶硅检测台装置。
背景技术
目前单晶硅电池片制备,第一步是拉成圆形晶棒,第二步是圆棒切方,按照尺寸要求将单晶硅棒切割成方棒,然后将方棒的四个棱边磨倒角,最后进行切片刻蚀等工艺。在开方和磨倒之后,一般由机器人进行上下料,并需要测量晶棒工件的尺寸是否符合要求,目前都是机器人下料后,把晶棒放到一个简易平台上,在由人工搬走,用各种量具进行尺寸检测,如果设计专用设备对晶棒进行尺寸检测,则需要一个检测平台,机器人把晶棒放到检测平台上,平台上的机构对晶棒进行找正定位,并把晶棒输送到检测工位,保证晶棒位置坐标,才能实现晶棒的全自动尺寸检测,检测完成的晶棒,在由伺服移栽机构送到机器人下料工位。
目前生产上使用的检测平台功能比较简单,不能准确定位,不适合自动尺寸检测设备,不适合机器人自动上下料应用,检测台表面都是裸露的金属,容易划伤晶棒,各工位是否有晶棒不能进行识别。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决目前生产上使用的检测平台功能比较简单,不能准确定位,不适合自动尺寸检测设备,不适合机器人自动上下料应用,检测台表面都是裸露的金属,容易划伤晶棒,各工位是否有晶棒不能进行识别的缺点,而提出的一种单晶硅检测台装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种单晶硅检测台装置,包括检测平台支架,检测平台支架上设置有伺服移栽机构,伺服移栽机构上连接有升降气缸,升降气缸上连接有夹紧气缸,夹紧气缸之间设置有单晶硅棒,检测平台支架上设置有对射传感器和聚氨酯支撑条。
优选的,所述检测平台支架的底部安装有四个支撑腿,四个支撑腿的底部均设置有胶垫。
优选的,所述伺服移栽机构包括两个传动轮,两个传动轮均转动安装在检测平台支架的中心位置,两个传动轮的外侧传动连接有同一个传动带,检测平台支架上设置有传动电机,传动电机的输出轴与一个传动轮相连。
优选的,所述升降气缸设置在传动带的外侧,滚轮支撑面为多个且设置在升降气缸的输出端。
优选的,所述夹紧气缸包括气缸和两个夹持手臂,单晶硅棒位于两个夹持手臂之间,单晶硅棒位于滚轮支撑面的顶部。
优选的,所述聚氨酯支撑条为多个且均匀排布设置在检测平台支架的顶部,对射传感器为多个且设置在聚氨酯支撑条的顶部。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
本方案检测台表面装有聚氨酯支撑条,防止对晶棒表面的划伤。
本方案升降气缸上设有支撑滚轮,减小夹紧定位晶棒摩擦力,同时滚动摩擦防止划伤晶棒表面。
本方案机器人放料不能居中,检测台设有夹紧气缸,可以使晶棒在工作台上自动对中。
本方案移栽装置采用伺服驱动,可以保证晶棒移动的定位精度
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