[实用新型]一种防晶圆斜插的晶舟盒有效
| 申请号： | 202220658464.1 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN216849875U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防晶圆斜插 晶舟盒 | ||
1.一种防晶圆斜插的晶舟盒，包括晶舟盒本体(1)，其特征在于，所述晶舟盒本体(1)包括第一边板(2)、第二边板(3)、第三边板(4)和第四边板(5)，所述第一边板(2)和所述第三边板(4)的结构相同且为对称设置，所述第二边板(3)的结构相同且为对称设置，所述第一边板(2)和所述第三边板(4)的顶端侧面固定设有第一外沿(6)，且所述第一边板(2)和所述第三边板(4)的内侧固定设有若干个分隔组件(7)，所述第二边板(3)和所述第四边板(5)的顶端侧面固定设有第二外沿(8)，所述第一边板(2)和所述第三边板(4)的相对侧设有感应组件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述第一边板(2)和所述第二边板(3)均为弧形壳状结构。
3.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述第一边板(2)的高度小于第二边板(3)的高度。
4.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述第一外沿(6)的两个边角处均固定设有防护弧形边(601)。
5.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述第二外沿(8)的表面开设有四个贯穿孔(801)，且四个所述贯穿孔(801)呈等距分布。
6.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述分隔组件(7)包括上分隔条(701)和下分隔条(702)，所述上分隔条(701)和所述下分隔条(702)均紧贴于所述第一边板(2)的内侧。
7.根据权利要求6所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述上分隔条(701)和所述下分隔条(702)之间设置有分离区间(7011)，且若干所述分离区间(7011)形成有隔离带。
8.根据权利要求6所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述感应组件(9)包括第一压力感应灯带(901)和第二压力感应灯带(902)，所述第一压力感应灯带(901)设置于位于相邻位置的上分隔条(701)之间，所述第二压力感应灯带(902)与所述第一压力感应灯带(901)为对称设置。
9.根据权利要求6所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，所述上分隔条(701)和下分隔条(702)的两侧均与晶圆接触面贴附有膜纸(7012)。
10.根据权利要求8所述的一种防晶圆斜插的晶舟盒，其特征在于，位于相邻位置三个所述第一压力感应灯带(901)的亮灯颜色不同，位于对称位置的所述第一压力感应灯带(901)和所述第二压力感应灯带(902)的亮灯颜色相同。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
