[实用新型]一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动的密封结构

权利要求书

1.一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：包括轴向运动轴(1)、真空腔体侧板(2)、腔体内部连接法兰(3)、腔体外部连接法兰(4)，所述轴向运动轴(1)依次穿过所述腔体外部连接法兰(4)、真空腔体侧板(2)以及腔体内部连接法兰(3)，所述轴向运动轴(1)位于真空腔体侧板(2)外部的轴身的端部与纠偏机(5)相连接，所述腔体内部连接法兰(3)内部设有密封组件Ⅰ，所述腔体外部连接法兰(4)内部设有密封组件Ⅱ。

2.根据权利要求1所述的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：所述密封组件Ⅰ包括第一内卡簧A(6)、第一Y型密封圈/格莱圈A(7)、第一金属挡圈A(8)、第一金属挡圈B(9)以及第一Y型密封圈/格莱圈B(10)，所述第一内卡簧A(6)固定在腔体内部连接法兰(3)的法兰中心内孔的内卡簧槽内，第一内卡簧B(19)将第一Y型密封圈/格莱圈A(7)、第一金属挡圈A(8)、第一金属挡圈B(9)、第一Y型密封圈/格莱圈B(10)固定于腔体内部连接法兰(3)的法兰中心内孔中，装配好密封组件Ⅰ的腔体内部连接法兰(3)套设有第一O型密封圈(11)后并固定于所述真空腔体侧板(2)的内部固定孔上。

3.根据权利要求1所述的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：所述密封组件Ⅱ包括第二内卡簧A(12)、第二Y型密封圈/格莱圈A(13)、第二金属挡圈A(14)、第二金属挡圈B(15)、第二Y型密封圈/格莱圈B(16)、第二Y型密封圈/格莱圈C(17)，第二内卡簧A(12)将第二Y型密封圈/格莱圈A(13)、第二金属挡圈A(14)、第二金属挡圈B(15)、第二Y型密封圈/格莱圈B(16)、第二Y型密封圈/格莱圈C(17)固定于腔体外部连接法兰(4)的法兰中心内孔中，装配好密封组件Ⅱ的腔体外部连接法兰(4)套设有第二O型密封圈(18)后并固定于所述真空腔体侧板(2)的外部固定孔上。

4.根据权利要求2所述的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：所述第一Y型密封圈/格莱圈A(7)、第一Y型密封圈/格莱圈B(10)与腔体内部连接法兰(3)的法兰中心内孔为过盈配合。

5.根据权利要求3所述的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：所述第二Y型密封圈/格莱圈A(13)、第二Y型密封圈/格莱圈B(16)、第二Y型密封圈/格莱圈C(17)与腔体外部连接法兰(4)的法兰中心内孔为过盈配合。

6.根据权利要求1或3所述的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，其特征在于：所述腔体外部连接法兰(4)的法兰中心内孔为台阶孔，其前部留有用于放置密封圈与挡圈的空间。