[实用新型]一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动的密封结构

说明书

本实用新型涉及一种轴向运动的密封结构，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构。本实用新型采用的技术方案是：一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，包括轴向运动轴、真空腔体侧板、腔体内部连接法兰、腔体外部连接法兰，所述轴向运动轴依次穿过所述腔体外部连接法兰、真空腔体侧板以及腔体内部连接法兰，所述轴向运动轴位于真空腔体侧板外部的轴身的端部与纠偏机相连接，所述腔体内部连接法兰内部设有密封组件Ⅰ，所述腔体外部连接法兰内部设有密封组件Ⅱ。本实用新型的优点是：结构合理，彻底解决了真空等离子设备腔体内外轴向运动的传动以及密封还有耐腐蚀性的要求，测试轴向运动时的真空密封效果可达到零泄露。

技术领域

本实用新型涉及一种轴向运动的密封结构，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构。

背景技术

真空等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化、表面活化和改性等场合。通过等离子处理设备的处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆和镀等操作，增强粘合力与键合力，同时可以去除油污、油脂和有机污染物。

真空等离子处理设备一般都设置调整张力的纠偏装置或者说纠偏系统来保证工作的齐整度，纠偏装置主要包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统等。由于真空等离子设备内部伴有腐蚀性气体，因此无法将电器元件直接安装到腔体内部。现有针对真空条件下腔体内外传动的密封连接在径向运动方面主要有磁流体密封结构，而轴向运动方面一般都是采用波纹管加密封圈的方式密封，而波纹管存在着行程受限，对不锈钢波纹管的焊接密封也是要求非常高，不易实现的缺陷。另外，在轴向运动的过程中，主要在于轴与法兰之间的密封要如何来实现，传统的轴向运动我们都是采用直线轴承的模式，而直线轴承导套内是配有钢珠的，采用钢珠滚动的方式来实现轴向滑动。而采用钢珠的情况下是没有办法对运动间隙进行密封的。因此，应该提供一种新的技术方案解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，包括轴向运动轴、真空腔体侧板、腔体内部连接法兰、腔体外部连接法兰，所述轴向运动轴依次穿过所述腔体外部连接法兰、真空腔体侧板以及腔体内部连接法兰，所述轴向运动轴位于真空腔体侧板外部的轴身的端部与纠偏机相连接，所述腔体内部连接法兰内部设有密封组件Ⅰ，所述腔体外部连接法兰内部设有密封组件Ⅱ。

本实用新型进一步设置为，

所述密封组件Ⅰ包括第一内卡簧A、第一Y型密封圈/格莱圈A、第一金属挡圈A、第一金属挡圈B以及第一Y型密封圈/格莱圈B，所述第一内卡簧A固定在腔体内部连接法兰的法兰中心内孔的内卡簧槽内，第一内卡簧B将第一Y型密封圈/格莱圈A、第一金属挡圈A、第一金属挡圈B、第一Y型密封圈/格莱圈B固定于腔体内部连接法兰的法兰中心内孔中，装配好密封组件Ⅰ的腔体内部连接法兰套设有第一O型密封圈后并固定于所述真空腔体侧板的内部固定孔上。

本实用新型进一步设置为，所述密封组件Ⅱ包括第二内卡簧A、第二Y型密封圈/格莱圈A、第二金属挡圈A、第二金属挡圈B、第二Y型密封圈/格莱圈B、第二Y型密封圈/格莱圈C，第二内卡簧A将第二Y型密封圈/格莱圈A、第二金属挡圈A、第二金属挡圈B、第二Y型密封圈/格莱圈B、第二Y型密封圈/格莱圈C固定于腔体外部连接法兰的法兰中心内孔中，装配好密封组件Ⅱ的腔体外部连接法兰套设有第二O型密封圈后并固定于所述真空腔体侧板的外部固定孔上。

本实用新型进一步设置为，

所述第一Y型密封圈/格莱圈A、第一Y型密封圈/格莱圈B与腔体内部连接法兰的法兰中心内孔为过盈配合。

所述第二Y型密封圈/格莱圈A、第二Y型密封圈/格莱圈B、第二Y型密封圈/格莱圈C与腔体外部连接法兰的法兰中心内孔为过盈配合。