[实用新型]晶圆测试装置

权利要求书

1.晶圆测试装置，包括测试工作台(2)，所述测试工作台(2)顶端安装有箱体(1)，所述箱体(1)顶端内壁开设有圆形凹槽(11)，所述测试工作台(2)底端固定连接有固定框(3)，其特征在于：还包括与箱体(1)连接的测试定位结构；

所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，所述吸附组件底端与固定框(3)内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽(11)内壁底端固定连接，所述限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，所述吸附组件顶端与定位支撑组件连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述定位支撑组件包括支撑板(51)，所述支撑板(51)安装在圆形凹槽(11)内壁正中央，所述支撑板(51)外侧滑动连接环形支撑板一(52)。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述环形支撑板一(52)外侧滑动连接有环形支撑板二(53)，所述环形支撑板二(53)外侧与圆形凹槽(11)内壁滑动连接，所述支撑板(51)、环形支撑板一(52)、环形支撑板二(53)底端均与限位调节组件顶端固定连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述限位调节组件包括伸缩杆一(61)、伸缩杆二(62)、固定支撑杆(63)、限位块(64)、限位槽(65)，所述伸缩杆一(61)、伸缩杆二(62)、固定支撑杆(63)底端均与圆形凹槽(11)内壁底端固定连接，所述固定支撑杆(63)顶端与支撑板(51)底端固定连接，所述伸缩杆一(61)顶端与环形支撑板一(52)底端固定连接，所述伸缩杆二(62)顶端与环形支撑板二(53)底端固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述限位槽(65)、限位块(64)均设有两组，一组所述限位槽(65)开设在环形支撑板一(52) 内侧，另一组所述限位槽(65)开设在环形支撑板二(53)内侧，一组所述限位块(64)内侧与支撑板(51)外壁固定连接，另一组所述限位块(64)内侧与环形支撑板一(52)外侧固定连接，所述限位槽(65)内壁与限位块(64)外壁滑动连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述限位块(64)、限位槽(65)的形状均设为T型。

7.根据权利要求5所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述限位块(64)、限位槽(65)的形状均设为弧形。

8.根据权利要求5所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述吸附组件包括吸盘(71)、橡胶垫(73)、抽气管(74)，所述吸盘(71)安装在支撑板(51)顶端，所述吸盘(71)底端连接并相通有传输管(72)，所述抽气管(74)底端与固定框(3)内壁底端固定连接，所述抽气管(74)右侧固定连接有伸缩杆(75)，所述伸缩杆(75)左端延伸至抽气管(74)内并连接有活塞(76)，所述抽气管(74)输出端与传输管(72)连接，所述橡胶垫(73)底端安装与支撑板(51)顶端。